[发明专利]太阳能电池的后制绒生产工艺

摘要

本发明涉及一种晶体硅太阳能电池的生产方法，特别是一种太阳能电池的后制绒生产工艺。硅片依次通过清洗、扩散、制绒、去磷硅玻璃、刻边、镀氮化硅、减反射薄膜、印刷背面电极、印刷铝背场、印刷正面电极、烧结工艺后成为电池成品，制绒工艺在扩散工艺之后。硅片在进行选择扩散后，形成高掺杂区和低掺杂区，在理想状态，希望高掺杂区的截面形状是上下宽度一致，但是在实际生产中，高掺杂区的截面上宽下窄呈现漏斗状，为此在扩散完成后，进行制绒，在制绒过程中，会使硅片表面一薄层被去除，相应的高掺杂区的厚度降低，高掺杂区的截面此时更接近于上下宽度一致的理性状态。最终生产出来的太阳能电池的转换效率更高。

主权项

1、一种太阳能电池的后制绒生产工艺，其特征在于：硅片(1)依次通过清洗、扩散、制绒、去磷硅玻璃、刻边、镀氮化硅、减反射薄膜、印刷背面电极、印刷铝背场、印刷正面电极、烧结工艺后成为电池成品，制绒工艺在扩散工艺之后。