[发明专利]污染物分析单元及其方法以及分划板清洁系统无效
| 申请号： | 200810142839.3 | 申请日： | 2008-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN101303274A | 公开（公告）日： | 2008-11-12 |
| 发明（设计）人： | 李玉仙;崔炯锡;安燿韩;金志锳 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G01N1/02 | 分类号： | G01N1/02;H01L21/66;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了污染物分析单元及其方法以及分划板清洁系统，用于在清洁物体后检查残留在检查物体(例如，分划板)的目标侧上的污染物。将目标侧浸泡在溶液中后，可以在预定时间之后从中提取取样液体并进行分析。 | ||
| 搜索关键词： | 污染物 分析 单元 及其 方法 以及 分划板 清洁 系统 | ||
【主权项】：
1、一种用于对检查物体的目标侧上的污染物进行检查的污染物分析单元，包括：取样模块，用于提取通过使检查物体的目标侧与溶液接触而提供的取样液体；以及分析器，构造成用于分析取样液体中的污染物；其中，所述取样模块包括：液体盆，具有容纳检查物体的目标侧的容纳空间；和液体供给喷嘴，构造成用于将溶液供给到液体盆的容纳空间中。
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