[发明专利]污染物分析单元及其方法以及分划板清洁系统

权利要求书

1、一种用于对检查物体的目标侧上的污染物进行检查的污染物分析单元，包括：

取样模块，用于提取通过使检查物体的目标侧与溶液接触而提供的取样液体；以及

分析器，构造成用于分析取样液体中的污染物；

其中，所述取样模块包括：

液体盆，具有容纳检查物体的目标侧的容纳空间；和

液体供给喷嘴，构造成用于将溶液供给到液体盆的容纳空间中。

2、根据权利要求1所述的污染物分析单元，其中，所述取样模块进一步包括：腔，所述腔提供与外部环境隔离的空间，

其中，所述腔包括：

壳体，该壳体一面具有通路，检查物体通过该通路被引入；和

门，用于打开和关闭所述通路。

3、根据权利要求2所述的污染物分析单元，其中，所述取样模块进一步包括吹扫气体供给元件，该吹扫气体供给元件构造成用于将吹扫气体供给到所述腔中。

4、根据权利要求1所述的污染物分析单元，其中，所述取样模块进一步包括加热元件，该加热元件构造成用于加热所述容纳空间中的溶液。

5、根据权利要求2所述的污染物分析单元，其中，所述取样模块进一步包括用于检测所述容纳空间中的溶液的温度的温度检测元件。

6、根据权利要求4所述的污染物分析单元，其中，通过在液体盆的上侧形成凹槽而制备所述容纳空间，其中，所述门置于壳体的顶部并与所述容纳空间相对。

7、根据权利要求6所述的污染物分析单元，其中，所述液体盆包括支撑突出部，用于将检查物体支撑在容纳空间中，以使检查物体的目标侧与容纳空间的底部隔离。

8、根据权利要求1所述的污染物分析单元，其中，所述取样模块进一步包括：排放管，将容纳空间连接到分析器，以将提取的液体样品从取样模块提供到分析器。

9、根据权利要求1所述的污染物分析单元，其中，所述取样模块成形为用于从作为检查物体的用在半导体工艺中的分划板提取取样液体。

10、一种用于分析检查物体的目标侧中的污染物的方法，包括：

通过将检查物体的目标侧浸泡在填充液体盆的溶液中来获得取样液体；和

通过检查所述取样液体来分析污染物。

11、根据权利要求10所述的污染物分析方法，其进一步包括：

将溶液填充在形成于液体盆的顶部的容纳空间中；和

在使检查物体的目标侧面朝填充液体盆的溶液之后，将检查物体的目标侧浸泡在溶液中，使得与目标侧相反的一侧与溶液分离开。

12、根据权利要求11所述的污染物分析方法，其中，取样液体从气密空间获得，其中，当检查物体定位在该空间中时，吹扫气体散布于该空间中。

13、根据权利要求10所述的污染物分析方法，其中，将检查物体的目标侧浸泡在受热的溶液中。

14、根据权利要求10所述的污染物分析方法，其中，当检查物体的目标侧浸泡在溶液中时，对溶液进行加热。

15、根据权利要求11所述的污染物分析方法，其中，在用于将溶液供给至容纳空间中的液体供给管中安装一阀，该阀的打开时间由控制器调节，以提供均量的填充容纳空间的溶液。

16、根据权利要求11所述的污染物分析方法，其中，检查物体是分划板。

17、一种分划板清洁系统，包括：

清洁设备，构造成用于清洁分划板；以及

污染物分析单元，构造成用于检查残留在已被清洁设备清洗的分划板的目标侧上的污染物，

其中，所述污染物分析单元包括：

腔；

液体盆，设置在所述腔中，包括容纳分划板的目标侧的容纳空间；

液体供给喷嘴，构造成用于将溶液供给到液体盆的容纳空间中；和

分析器，构造成用于分析通过将分划板的目标侧浸泡在溶液中而得到的取样液体中的污染物。