[发明专利]硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体提纯吸附剂及其制备方法无效
| 申请号： | 200810136946.5 | 申请日： | 2008-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN101342478A | 公开（公告）日： | 2009-01-14 |
| 发明（设计）人： | 王少志 | 申请（专利权）人： | 王少志 |
| 主分类号： | B01J20/02 | 分类号： | B01J20/02;B01J20/32;C01B6/34;C01B33/04;C01B25/06 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人： | 单军 |
| 地址： | 150090黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体提纯吸附剂及其制备方法，它涉及一种气体提纯吸附剂及其制备方法。它解决了目前采用钯粉吸附剂对硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体中的杂质气体去除率低，还需要进一步协助分解的问题。提纯吸附剂由载体和载体表面的金属铝层组成。制备方法：在氢气存在下将氢气与三甲基铝的混合汽体喷涂于温度为600～650℃的载体表面，即得到硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体提纯吸附剂。本发明提纯吸附剂在不增加协助分解的情况下经检测CO2的去除率高于95％、CH4的去除率高于98％、C2H6的去除率高于98％、O2的去除率高于99.8％、CO的去除率高于95％、水蒸气的去除率高于99.6％。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 磷烷 气体 提纯 吸附剂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体提纯吸附剂，其特征在于硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体提纯吸附剂由载体和载体表面的金属铝层组成。
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