[发明专利]硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体提纯吸附剂及其制备方法无效
| 申请号： | 200810136946.5 | 申请日： | 2008-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN101342478A | 公开（公告）日： | 2009-01-14 |
| 发明（设计）人： | 王少志 | 申请（专利权）人： | 王少志 |
| 主分类号： | B01J20/02 | 分类号： | B01J20/02;B01J20/32;C01B6/34;C01B33/04;C01B25/06 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人： | 单军 |
| 地址： | 150090黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅烷 磷烷 气体 提纯 吸附剂 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1、硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体提纯吸附剂，其特征在于硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体提纯吸附剂由载体和载体表面的金属铝层组成。
2、根据权利要求1所述的硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体提纯吸附剂，其特征在于载体为活性炭、沸石或陶粒。
3、制备权利要求1所述硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体提纯吸附剂的方法，其特征在于硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体提纯吸附剂按以下步骤制备：在氢气存在下将氢气与三甲基铝的混合汽体喷涂于温度为600～650℃的载体表面，即得到硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体提纯吸附剂；其中氢气与三甲基铝的混合气体中氢气与三甲基铝的摩尔比为1∶5～10。
4、根据权利要求3所述的硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体提纯吸附剂的制备方法，其特征在于氢气与三甲基铝的混合气体的温度为600～650℃。
5、根据权利要求3所述的硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体提纯吸附剂的制备方法，其特征在于氢气与三甲基铝的混合气体中氢气与三甲基铝的摩尔比为1∶6～9。
6、根据权利要求3所述的硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体提纯吸附剂的制备方法，其特征在于氢气与三甲基铝的混合气体中氢气与三甲基铝的摩尔比为1∶7～8。
7、根据权利要求3所述的硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体提纯吸附剂的制备方法，其特征在于氢气与三甲基铝的混合气体中氢气与三甲基铝的摩尔比为1∶5。
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