[发明专利]静压轴承无效
| 申请号： | 200810135690.6 | 申请日： | 2008-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN101344123A | 公开（公告）日： | 2009-01-14 |
| 发明（设计）人： | 中岛龙太;野本刚;细畠拓也 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | F16C32/06 | 分类号： | F16C32/06;G12B5/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈萍 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种能够防止粒子飞散到装置周边的静压轴承。即使在为了在滑行面(2a)上浮起而从喷出面(11a)对滑行面(2a)喷出空气(A1)，空气被吹到进入在载物台(2)的表面上形成的微细的孔部的粒子(P)、或附着在载物台表面上的粒子(P)上的情况下，通过配置在喷出部(11)的外周侧的吸引面(12a)，将所吹的空气(A1)的一部分即空气(A2)与粒子(P)一起吸引回收。并且，将吸引面(12a)配置为比喷出面(11a)的下端后退，而容易使粒子(P)的吸引和空气的喷出平衡，由此，使静压轴承(10)在滑行面(2a)上浮起并非接触地滑行，并且可靠地捕捉向载物台装置(1)周边飞散的粒子(P)。 | ||
| 搜索关键词： | 静压 轴承 | ||
【主权项】：
1.一种静压轴承，沿着规定的构造物的滑行面非接触地滑行，其特征在于，具有：喷出部，具有对上述滑行面喷出空气的喷出面；以及吸引部，具有对从上述喷出面对上述滑行面喷出的空气进行吸引的吸引面；上述吸引面被配置为，在上述喷出部的内周侧或外周侧的位置上，比上述喷出部的下端后退。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于住友重机械工业株式会社，未经住友重机械工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810135690.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
