[发明专利]静压轴承

说明书

技术领域

本发明涉及一种静压轴承，用于使滑块在XY载物台的滑行面上非接触地滑行。

背景技术

作为该领域的现有技术，有日本特开2000-155186号公报。该公报记载的静压轴承为，设置在XY载物台的滑块的下端部，因滑块的重量而受到朝向基座(构造物)的导向面(滑行面)侧的力，同时由于向基座的导向面喷出空气而作用的空气压，受到从导向面离开的方向的力。该静压轴承边受到来自上述的铅直方向两侧的作用力的束缚，边沿导向面进行非接触移动。

专利文献1：日本特开2000-155186号公报

在此，在通过空气的喷出而在导向面上浮起的静压轴承中，由于进入到在基座上形成的微小孔部的粒子、或附着在基座表面上的粒子被吹空气，因此该粒子可能飞起并飞散到装置周边。尤其在基座上载放有半导体基板等的情况下，存在飞散的粒子附着在半导体基板上的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种能够防止粒子飞散到装置周边的静压轴承。

本发明的静压轴承是沿规定的构造物的滑行面非接触地滑行的静压轴承，其特征在于，具备：喷出部，具有对上述滑行面喷出空气的喷出面；以及吸引部，具有对从上述喷出面对上述滑行面喷出的空气进行吸引的吸引面，上述喷出部具有：在内部形成有孔的烧结件；第一外周壁部，与上述烧结件的外周面的整个区域紧密接触地设置，防止空气从上述烧结件的外周面泄漏；以及上壁部，形成向上述烧结件供给空气的空间，上述吸引部具有：第二外周壁部，设置在上述第一外周壁部的外周侧；和吸引空间，通过上述第一外周壁部与上述第二外周壁部的夹持而形成，上述吸引部的吸引面，形成在上述第二外周壁部的下端部与上述第一外周壁部之间，并且被配置为比上述喷出部的下端后退。

在该静压轴承中，为了在滑行面上浮起而从喷出面对滑行面喷出空气，即使在进入到在构造物的表面上形成的微细孔部的粒子、或附着在构造物表面上的粒子被吹空气的情况下，也通过配置在喷出部的内周侧或外周侧的吸引面，将所吹的空气的一部分与粒子一起吸引回收。并且，由于吸引面被配置为比喷出部的下端后退，所以容易使粒子的吸引和空气的喷出平衡，由此，能够使静压轴承在滑行面上浮起并非接触地滑行，并能够可靠捕捉飞散到装置周边的粒子。

并且，即使在由于从喷出面对滑行面喷出空气而粒子被吹空气的情况下，也通过设置在喷出部的外周侧的吸引面，将所吹的空气的一部分与粒子一起吸引回收。由此，能够在飞散到装置周边前的阶段回收粒子，并且，由于吸引面设置在整个外周，因此粒子不会从一部分漏出、能够可靠地进行回收。

并且，即使在由于从喷出面对滑行面喷出空气而对粒子吹空气的情况下，也通过设置在喷出部的内周侧的吸引面，将所吹的空气的一部分与粒子一起吸引回收。由此，能够使粒子不向喷出面的外周侧去地回收粒子。

发明效果：

根据本发明的静压轴承，能够防止粒子飞散到装置周边。

附图说明

图1是使用了第1实施方式的静压轴承的XY载物台装置的立体图。

图2是第1实施方式的静压轴承的立体图。

图3是图2的静压轴承的横剖视图。

图4是第2实施方式的静压轴承的立体图。

图5是图4的静压轴承的横剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的倾斜载物台的优选实施方式进行详细说明。

(第1实施方式)

如图1所示，采用了本实施方式的静压轴承10的XY载物台装置1具有：具有静压轴承10的滑行面2a的载物台(构造物)2；在载物台2上沿Y轴方向移动的第1移动体3；在载物台2上的X轴方向的两端延伸、导向第1移动体3的移动的轨道部4；以及，沿着第1移动体3向X轴方向移动的第2移动体6。在该XY载物台装置1的第1移动体3的两端形成有沿着轨道部4移动的滑块部3a，在该滑块部3a的下端部设置有静压轴承10。并且，在第2移动体6的下端部也设置有静压轴承10。另外，如图1所示，X和Y在水平面上相互成90度。

静压轴承10因滑块部3a或第2移动体6的重量而受到向下方的力，同时由于向载物台2的滑行面2a喷出空气而作用的空气压，受到向上方的力。由此，静压轴承10受到从铅直方向的两侧作用的力的束缚，并且从滑行面2a上浮起。而且，随着第1移动体3或第2移动体6的移动，在滑行面2a上非接触地滑行。