[发明专利]制造碳薄膜的方法和碳薄膜涂覆体有效
| 申请号： | 200810135072.1 | 申请日： | 2008-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN101363111A | 公开（公告）日： | 2009-02-11 |
| 发明（设计）人： | 金泽孝明;下田健二;七原正辉;铃木奉努;大森直之 | 申请（专利权）人： | 丰田自动车株式会社;爱信精机株式会社;株式会社东研萨莫技术 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 蔡胜有;王春伟 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种制造碳薄膜的方法，所述方法包括在基材(5)表面上沉积中间层(6)，和在中间层(6)的表面上形成类金刚石碳涂层(1)。在制造碳薄膜的方法中，在中间层(6)的沉积期间将0V到－30V的偏压施加到基材(5)上。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 薄膜 方法 涂覆体 | ||
【主权项】：
1.一种制造碳薄膜的方法，其特征在于包括：在基材(5)的表面上沉积中间层(6)；在所述中间层的表面上形成类金刚石碳涂层(1)；和其中在所述中间层的沉积期间对所述基材施加0V到-30V的偏压。
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