[发明专利]直流磁过滤阴极真空弧等离子体源

摘要

本发明属于一种等离子体源，具体公开了一种直流磁过滤阴极真空弧等离子体源。其特点是利用正偏压电源有效减少等离子体损失，提高输出效率，利用轴向磁场和圆截锥形阴极斜面的夹角来约束和稳定阴极弧放电发生在阴极端面，使本发明在高真空下可以稳定工作，并且提高了进入真空腔体的等离子体的均匀性；还可在水冷阳极筒与水冷引出直管之间连接有电阻，避免阳极直接接地导致的低等离子体输出效率和水冷引出直管过热现象，从而进一步提高等离子体输出效率；还可利用送气管在等离子体产生区充入工作气体，使之参与等离子体放电，有助于在工件上沉积高质量反应薄膜。

主权项

1.一种直流磁过滤阴极真空弧等离子体源，它包括相互绝缘的水冷阳极筒(7)、水冷过滤弯管(9)和水冷引出直管(12)，在水冷阳极筒(7)内设有安装于阴极水冷座(2)上的圆截锥形阴极(1)、与触发线包(3)相连接的触发针(4)，在水冷阳极筒(7)外侧的上下分别绕有稳弧线圈(5)和聚焦线圈(6)，在水冷过滤弯管(9)外侧绕有偏转线圈(10)，在水冷引出直管(12)外侧绕有引出线圈(13)，水冷阳极筒(7)与阴极水冷座(2)之间连接有弧放电电源(16)，其特征在于：所说的圆截锥形阴极(1)的斜面和其所形成的轴向磁场磁力线之间的夹角为5°～45°，水冷过滤弯管(9)与水冷阳极筒(7)之间连接有0V～100V的正偏压电源(15)。