[发明专利]直流磁过滤阴极真空弧等离子体源有效
| 申请号： | 200810132183.7 | 申请日： | 2008-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN101321427A | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 唐德礼;童洪辉;蒲世豪;谢峰 | 申请（专利权）人： | 核工业西南物理研究院 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34;H05H1/40;H01J37/08;C23C16/513 |
| 代理公司： | 核工业专利中心 | 代理人： | 高尚梅 |
| 地址： | 610041四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 直流 过滤 阴极 真空 等离子体 | ||
1.一种直流磁过滤阴极真空弧等离子体源，它包括水冷阳极筒(7)、水冷过滤弯管(9)和水冷引出直管(12)，在所述水冷阳极筒(7)内设有安装于阴极水冷座(2)上的圆截锥形阴极(1)、与触发线包(3)相连接的触发针(4)，在所述水冷阳极筒(7)外侧的上下分别绕有稳弧线圈(5)和聚焦线圈(6)，在所述水冷过滤弯管(9)外侧绕有偏转线圈(10)，在所述水冷引出直管(12)外侧绕有引出线圈(13)，所述水冷阳极筒(7)与所述阴极水冷座(2)之间连接有弧放电电源(16)，其特征在于：所述水冷过滤弯管(9)与水冷阳极筒(7)之间和所述水冷过滤弯管(9)与水冷引出直管(12)之间分别由上绝缘环(8)和下绝缘环(11)绝缘开来，所述的圆截锥形阴极(1)的斜面和所述圆截锥形阴极(1)所形成的轴向磁场磁力线之间的夹角为5°～45°，所述水冷过滤弯管(9)与水冷阳极筒(7)之间连接有0V～100V的正偏压电源(15)，所述水冷阳极筒(7)与所述水冷引出直管(12)之间连接有150Ω～300Ω的电阻(14)，所述水冷阳极筒(7)的内径为120mm～150mm，水冷过滤弯管(9)内径为120mm～150mm，所述弧放电电源(16)电压是60V～100V。
2.如权利要求1所述的一种直流磁过滤阴极真空弧等离子体源，其特征在于：在所述水冷阳极筒(7)顶部增设有送气管(17)，用于向等离子体产生区(18)充入工作气体参与等离子放电。
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