[发明专利]表面发射激光器有效
| 申请号： | 200810129459.6 | 申请日： | 2008-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN101359807A | 公开（公告）日： | 2009-02-04 |
| 发明（设计）人： | 井久田光弘 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H01S5/18 | 分类号： | H01S5/18;H01S5/187;H01S5/125;H01S5/30 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 康建忠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种能够在单横模下减小对上部反射镜的反射率的影响的高输出的表面发射激光器。该表面发射激光器包括在衬底上层叠的多个半导体层，包括下部半导体多层反射镜、活性层，以及上部半导体多层反射镜，其中，下或上部半导体多层反射镜包括具有二维光子晶体结构的第一半导体层，该二维光子晶体结构由高折射率部分和低折射率部分构成，高折射率部分和低折射率部分被布置在平行于衬底的方向，以及其中，层叠在所述第一半导体层上的第二半导体层包括到达所述低折射率部分的微孔，所述微孔在平行于所述衬底的所述方向的截面小于在所述第一半导体层中形成的所述低折射率部分的截面。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 发射 激光器 | ||
【主权项】：
1.一种表面发射激光器，包括在衬底上层叠的多个半导体层，所述半导体层包括下部半导体多层反射镜、活性层、以及上部半导体多层反射镜，其中，所述下部半导体多层反射镜和所述上部半导体多层反射镜中的一个包括具有二维光子晶体结构的第一半导体层，所述二维光子晶体结构由高折射率部分和低折射率部分构成，所述高折射率部分和低折射率部分被布置在平行于所述衬底的方向，以及其中，层叠在所述第一半导体层上的第二半导体层包括到达所述低折射率部分的微孔，所述微孔在平行于所述衬底的所述方向的截面小于在所述第一半导体层中形成的所述低折射率部分的截面。
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