[发明专利]固体摄像装置及其制造方法

摘要

本发明的目的在于得到一种固体摄像装置及其制造方法，灵敏度高、且可对应于多像素化用的像素的细微化，且可高速动作。该固体摄像装置包括多个光电转换部，在基板上按行列状进行配置；垂直传送沟道，配置在所述光电转换部的垂直列间部分；多个垂直传送电极，将所述光电转换部的电荷传送给所述垂直传送沟道；遮光膜，在所述垂直传送电极上隔着第一绝缘膜层积并具有规定了所述光电转换部的受光部的多个窗部；以及分流布线，配置在与所述垂直传送沟道重合的区域，通过第二绝缘膜与所述遮光膜绝缘；从所述分流布线供给对应于所述垂直传送电极的各驱动相位的驱动脉冲。

主权项

1、一种固体摄像装置，其特征在于，包括：多个光电转换部，在基板上按行列状进行配置；垂直传送沟道，配置在所述光电转换部的垂直列间部分；多个垂直传送电极，将所述光电转换部的电荷传送给所述垂直传送沟道；遮光膜，在所述垂直传送电极上隔着第一绝缘膜层积并具有规定了所述光电转换部的受光部的多个窗部；以及分流布线，配置在与所述垂直传送沟道重合的区域，通过第二绝缘膜与所述遮光膜绝缘；从所述分流布线供给对应于所述垂直传送电极的各驱动相位的驱动脉冲。