[发明专利]具有电极构件的衬底处理设备无效
| 申请号： | 200810126447.8 | 申请日： | 2008-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN101389178A | 公开（公告）日： | 2009-03-18 |
| 发明（设计）人： | 孙亨圭 | 申请（专利权）人： | 爱德牌工程有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/00;H01L21/311;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈英俊;李瑞海 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种用于产生等离子体的电极构件，包括电极板和具有与电极板热接触的多个热电模块的冷却单元。热电模块可以基于珀尔帖效应调节电极板的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 电极 构件 衬底 处理 设备 | ||
【主权项】：
1. 一种用于产生等离子体的电极构件，包括：电极板；以及冷却单元，所述冷却单元具有与所述电极板热接触的多个热电模块。
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