[发明专利]用于制造相变存储器材料的碲(Te)前驱体无效
| 申请号： | 200810125876.3 | 申请日： | 2008-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN101367756A | 公开（公告）日： | 2009-02-18 |
| 发明（设计）人： | 萧满超;T·R·加夫尼 | 申请（专利权）人： | 气体产品与化学公司 |
| 主分类号： | C07C395/00 | 分类号： | C07C395/00;C23C16/30 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 段晓玲;范赤 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 说明书中公开了用于制造相变存储器材料的碲(Te)前驱体，特别是含碲(Te)前驱体、含Te硫属元素化物相变材料。说明书中还公开了使用ALD、CVD或循环CVD法制造含Te硫属元素化物相变材料的方法，其中至少一种公开的含碲(Te)前驱体引入该方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 相变 存储器 材料 te 前驱 | ||
【主权项】：
1.含Te组合物，包括具有以下一般结构的氘化有机碲酚：R-Te-D其中R选自含1—10个碳的直链、支链或环状形式的烷基或烯基；含C6-12 的芳基；二烷氨基；甲硅烷基和有机锗基。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于气体产品与化学公司，未经气体产品与化学公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810125876.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：磷脂共聚物
- 下一篇：电子装置用触觉触摸屏
