[发明专利]在制造过程中保护临界表面的形成有图案的接触片材

摘要

本发明涉及在制造过程中保护临界表面的形成有图案的接触片材以及一种使用形成有图案的接触片材将盖子片粘合到插入物片上以形成盖子/插入物组合或单元的方法，所述接触片材具有华夫饼干状图案的许多脊和许多井，所述盖子/插入物组合或单元可粘合到具有MEM设备的基材上，所述盖子片、插入物片和基材一起形成MEM用的保护性封装。使用形成有图案的接触片材在所述透光的窗口区域(临界区域)形成更少的缺陷。令人吃惊的是，使用形成图案的接触片材也能在窗口形成相比使用未形成图案的接触片材形成的窗口更好的平坦度。

主权项

1.一种使用粘合剂材料将盖子片粘合到插入物片上的方法，所述方法包括以下步骤：提供透过可见光的盖子片、具有厚度和穿过该厚度的多个通道的插入物片以及粘合剂；提供具有形成有图案的接触片材的卡盘，所述形成有图案的接触片材具有华夫饼干状图案的多个脊和多个井；将所述盖子片置于所述形成有图案的接触片材上；以及使用所述粘合剂将所述插入物片粘合到所述盖子片上；其中所述插入物片置于所述盖子片上，以使所述插入物通道壁的厚度对准所述接触片材的脊，所述插入物通道对准所述接触片材的井。