[发明专利]在制造过程中保护临界表面的形成有图案的接触片材

权利要求书

1.一种使用粘合剂材料将盖子片粘合到插入物片上的方法，所述方法包括以 下步骤：

提供透过可见光的盖子片、具有厚度和穿过该厚度的多个通道的插入物片以 及粘合剂；

提供具有形成有图案的接触片材的卡盘，所述形成有图案的接触片材具有华 夫饼干状图案的多个脊和多个井；

将所述盖子片置于所述形成有图案的接触片材上；以及

使用所述粘合剂将所述插入物片粘合到所述盖子片上；

其中所述插入物片置于所述盖子片上，以使所述插入物通道壁的厚度对准所 述接触片材的脊，所述插入物通道对准所述接触片材的井。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于使所述粘合剂热固化，以将所述盖子 片粘合到所述插入物片上。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于使用光化辐射固化所述粘合剂，以将 所述盖子片粘合到所述插入物片上。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于使用紫外辐射固化所述粘合剂，以将 所述盖子片粘合到所述插入物片上。

5.一种使用粘合剂材料将盖子片和插入物片粘合在一起的方法，所述方法至 少包括以下步骤：

提供具有形成有图案的接触片材的卡盘，所述形成有图案的接触片材具有多 个脊和多个井；

将盖子片置于所述形成有图案的接触片材上；

提供插入物片，所述插入物片具有厚度和穿过所述厚度的多个通道；

将粘合剂施加到要粘合到所述盖子片上的插入物片表面上，或者将粘合剂施 加到所述盖子片的一定位置上，以使所述盖子片上的粘合剂仅位于所述接触片材的 脊的上方，且不位于所述接触片材的井的上方；

使所述插入物片接触所述盖子片，以使要粘合到所述盖子片上的插入物片的 表面与所述接触片材的脊对准，以及使所述插入物的通道与所述接触片材的井对 准；

在使用或不使用光化辐照的条件下，于选定的温度向所述盖子片和所述插入 物片施加选定压力并保持选定时间，以使所述粘合剂渗透所述盖子片和所述插入物 片表面上相互粘合的位置处的微孔，以及使所述粘合剂固化或基本固化，以将所述 插入物层粘合到所述盖子层上，形成盖子/插入物单元；

除去所述粘合的盖子/插入物单元，使之不与所述形成有图案的接触片材接触。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，在除去所述粘合的盖子/插入物单 元，使之不与所述形成有图案的接触片材接触后，任选使用光化辐照进一步固化所 述粘合剂。

7.如权利要求5所述的方法，其特征在于，在除去所述粘合的盖子/插入物单 元，使之不与所述形成有图案的接触片材接触后，任选使用紫外辐照进一步固化所 述粘合剂。