[发明专利]液晶显示器基板检测装置及缺陷检测方法有效
| 申请号: | 200810119939.4 | 申请日: | 2008-09-11 |
| 公开(公告)号: | CN101672804A | 公开(公告)日: | 2010-03-17 |
| 发明(设计)人: | 高浩然;张宇;张铁林 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/958 | 分类号: | G01N21/958 |
| 代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人: | 刘 芳 |
| 地址: | 100176北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种液晶显示器基板检测装置及缺陷检测方法,其中装置包括:光学成像模块,用于形成透明基板上图形的图像,还包括反射镜,在检测时,所述反射镜、待检测透明基板与所述光学成像模块位于同一条光路上,并且所述反射镜设置在所述待检测透明基板的下方,所述光学成像模块通过所述反射镜,能够形成所述待检测透明基板上不透明膜层下表面的缺陷的像。本发明提供的液晶显示器基板检测装置及缺陷检测方法,不仅可以实现通过常规的俯视方式检测基板上不透明膜层上表面的缺陷,还可以实现借助于反射镜通过仰视方式检测基板上不透明膜层下表面的缺陷,提高了缺陷检测的覆盖率,避免了将缺陷引入后续工序。 | ||
| 搜索关键词: | 液晶显示器 检测 装置 缺陷 方法 | ||
【主权项】:
1、一种液晶显示器基板检测装置,包括:光学成像模块,用于形成透明基板上图形的图像,其特征在于,还包括反射镜,在检测时,所述反射镜、待检测透明基板与所述光学成像模块位于同一条光路上,并且所述反射镜设置在所述待检测透明基板的下方,所述光学成像模块通过所述反射镜,能够形成所述待检测透明基板上不透明膜层下表面的缺陷的像。
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