[发明专利]液晶显示器基板检测装置及缺陷检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及检测技术领域，尤其涉及一种液晶显示器基板检测装置及缺陷检测方法。 

背景技术

在薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)的阵列制造阶段，通过各掩膜工艺完成对玻璃基板上阵列图案(array pat tern)的制造加工。在阵列工序结束后，需要对产品进行检测和维修。检测就是测试产品有无缺陷以及缺陷位置的过程，维修就是通过激光切割、焊接等手段将不良品尽可能修复为良品的过程。 

为了实现高质量的维修，高质量的缺陷检查(Inspect ion)是前提。在缺陷检查中，需要使用有一定放大倍数的镜头进行仔细的搜索和判断。通常而言，囿于检测设备的地址准确定位能力，搜索时需要对所给地址的周边区域有一定的扩展范围，在找到缺陷的精确位置后，进行缺陷属性的判断，在修复阶段可以根据不同的检测结果选择合适的修复方式对缺陷进行修复。 

如图1所示为现有技术中液晶显示器基板检测装置结构示意图，该装置用于检测形成有阵列图形的透明基板是否存在缺陷，该装置包括光学成像模块和激光维修模块两大部分，这两大部分通常可以集成在一起，在图1中这两大部分统一用标号1标记，光学成像模块和激光维修模块共用一部分光路，光学成像模块主要用于完成缺陷检测，激光维修模块主要用于对检测到的缺陷进行修复。光学成像模块通常可以包括反射棱镜组、透镜组、自动对焦单元、照相单元等，激光维修模块可以包括激光发射器、激光控制器循环冷却单元、光束冷却单元、光束能量控制单元、光束孔径控制单元、反射棱镜组、 透镜组等。为了实现精确的检测和修复，该装置还包括承载台2、载入载出单元、移动控制单元3、减震单元4以及用于控制激光维修模块和光学成像模块的控制器5，控制器5和光学成像模块与激光维修模块1电气连接。 

在进行缺陷检查时，透明基板6被固定在承载台2上，光学成像模块和激光维修模块1在移动控制单元3的控制下在透明基板的上表面上方的整个平面内移动，如图2所示为现有技术中液晶显示器基板检测装置加载透明基板之后的示意图。背光模块7随着光学成像模块和激光维修模块1一起移动，在需要时可以提供从透明基板下方入射的背光。通过调整焦距，在光学成像模块中可以看到清晰的透明基板上阵列图形的图像，如图3所示为现有技术中通过液晶显示器基板检测装置检测到的图形的成像示意图，图3中8为源漏电极层，是不透明膜层，9为透明电极层。 

尽管在缺陷检测时已进行了尽可能仔细的搜索，但是仍然有一部分缺陷无法找到，其中一个主要原因就在于：缺陷处于特殊位置，依照现有的缺陷检测方式无法检测到；例如，透明基板上沉积有栅电极层、源漏电极层等不透明膜层，对于存在于这些膜层上表面的一些微小颗粒(Particle)，按照现有的检测方式，通过俯视的方式检测透明基板可以检测到，但是对于存在于这些不透明膜层下表面的一些微小颗粒，通过这种俯视检测透明基板的方式则无法得到，从而会导致一部分缺陷引入在后工序中，造成良品率下降。 

发明内容

本发明的目的是针对现有技术存在的问题，提供一种液晶显示器基板检测装置，可以检测到透明基板上不透明膜层下表面上的缺陷，提高缺陷检测覆盖率。 

为实现上述目的，本发明提供了一种液晶显示器基板检测装置，包括：光学成像模块，用于形成透明基板上图形的图像，还包括反射镜，在检测时，所述反射镜、待检测透明基板与所述光学成像模块位于同一条光路上，并且所述反射镜设置在所述待检测透明基板的下方，通过所述光学成像模块中的第一物镜检测所述待检测透明基板上表面的缺陷，将所述光学成像模块中的所述第一物镜下降d的距离或通过与所述第一物镜相比下降了距离d的第二物镜，通过所述反射镜形成所述待检测透明基板上不透明膜层下表面的缺陷的像。 

在以上技术方案的基础上，还可以包括：基板承载模块，用于承载所述待检测透明基板； 

检测时，所述待检测透明基板与所述反射镜之间相隔一层空气膜。 

具体地，所述承载模块可以是为放置在所述反射镜上的一个透明平板，在检测时，所述待检测透明基板放置于所述透明平板上。 

还可以包括背光模块，设置在所述反射镜的下方，当所述光学成像模块移动时，所述背光模块同步移动； 

并且所述反射镜上设置有多个孔，孔的开口面积小于所述光学成像模块的物镜开口面积。 

所述反射镜可以固定在所述背光模块上表面。 

上述的反射镜上的反射膜可以是为半反半透膜。 

为了实现上述目的，本发明还提供了一种液晶显示器基板缺陷检测方法，包括：