[发明专利]微小型原子力显微镜的驱动装置

摘要

本发明公开了一种微小型原子力显微镜的驱动装置，由弹簧基板、线圈基座、三个隔板和上下盖板组成；上盖板与下盖板之间从上至下设有A隔板、弹簧基板、B隔板、C隔板、线圈基座。本发明驱动装置通过长螺钉的一端分别穿过A通孔、B通孔、C通孔、D通孔、E通孔后与螺母螺纹连接来实现将A隔板、弹簧基板、B隔板、C隔板、线圈基座固定夹紧在上盖板与下盖板之间。本发明的驱动装置是一种体积小、重量轻、扫描范围大的原子力显微镜的全新的驱动机构，当给电流线圈通电时，电流线圈的磁场和永磁体的磁场的将发生吸引或排斥作用而产生振动运动，从而达到三维驱动的效果。

主权项

1、一种微小型原子力显微镜的驱动装置，其特征在于：由弹簧基板(1)、线圈基座(6)、A隔板(2)、B隔板(3)、C隔板(4)和上盖板(5)、下盖板(7)组成；上盖板(5)与下盖板(7)之间从上至下设有A隔板(2)、弹簧基板(1)、B隔板(3)、C隔板(4)、线圈基座(6)；所述A隔板(2)上呈三角形布局设有A方孔(201)、B方孔(202)、C方孔(203)，沿A隔板(2)的正侧面(206)开有凹槽(204)，A隔板(2)的四个角分别设有A通孔(205)；所述B隔板(3)的中心位置沿正侧面(303)开有T形槽(301)，B隔板(3)的四个角分别设有C通孔(302)；所述C隔板(4)的中心位置沿正侧面(403)开有T形槽(401)，C隔板(4)底部轴向上设有矩形凹槽(404)，C隔板(4)的四个角分别设有D通孔(402)；所述弹簧基板(1)上呈三角形布局设有A弹簧(101)、B弹簧(102)、C弹簧(103)，沿弹簧基板(1)的正侧面(109)开有凹槽(110)，沿弹簧基板(1)的四个角分别设有B通孔(105)；弹簧基板(1)的底部悬挂有T形架(104)，T形架A端(111)设有供A圆柱磁体(106)通过的孔，T形架B端(112)设有供B圆柱磁体(107)通过的孔，T形架C端(113)设有供C圆柱磁体(108)通过的孔，A圆柱磁体(106)、B圆柱磁体(107)、C圆柱磁体(108)的一端分别粘接在A弹簧(101)、B弹簧(102)、C弹簧(103)的十字簧上；所述A弹簧(101)、B弹簧(102)和C弹簧(103)结构相同，其中，B弹簧(102)的中心是十字簧(121)，十字簧(121)的两侧分别为左簧片(123)、右簧片(122)；弹簧基板(1)上采用喷涂工艺制备有导电层；所述线圈基座(6)呈三角形布局设有A线圈孔(611)、B线圈孔(612)、C线圈孔(613)，呈矩形开设有四个E通孔(604)，线圈基座(6)的四个角分别设有F通孔(605)，沿线圈基座(6)的右侧面(606)开有出线槽(607)；在线圈基座(6)的A线圈孔(611)、B线圈孔(612)、C线圈孔(613)中分别安装有A线圈(601)、B线圈(602)、C线圈(603)；所述A线圈(601)、B线圈(602)、C线圈(603)结构相同。