[发明专利]微小型原子力显微镜的驱动装置

权利要求书

1.一种微小型原子力显微镜的驱动装置，其特征在于：由弹簧基板(1)、线圈基座(6)、A隔板(2)、B隔板(3)、C隔板(4)和上盖板(5)、下盖板(7)组成；上盖板(5)与下盖板(7)之间从上至下设有A隔板(2)、弹簧基板(1)、B隔板(3)、C隔板(4)、线圈基座(6)；

所述A隔板(2)上呈三角形布局设有A方孔(201)、B方孔(202)、C方孔(203)，沿A隔板(2)的正侧面(206)开有凹槽(204)，A隔板(2)的四个角分别设有A通孔(205)；

所述B隔板(3)的中心位置沿正侧面(303)开有T形槽(301)，B隔板(3)的四个角分别设有C通孔(302)；

所述C隔板(4)的中心位置沿正侧面(403)开有T形槽(401)，C隔板(4)底部轴向上设有矩形凹槽(404)，C隔板(4)的四个角分别设有D通孔(402)；

所述弹簧基板(1)上呈三角形布局设有A弹簧(101)、B弹簧(102)和C弹簧(103)，该A弹簧(101)、B弹簧(102)和C弹簧(103)采用微雕技术镂空刻出“亚”字面形构形；沿弹簧基板(1)的正侧面(109)开有凹槽(110)，沿弹簧基板(1)的四个角分别设有B通孔(105)；弹簧基板(1)的底部悬挂有T形架(104)，T形架A端(111)设有供A圆柱磁体(106)通过的孔，T形架B端(112)设有供B圆柱磁体(107)通过的孔，T形架C端(113)设有供C圆柱磁体(108)通过的孔，A圆柱磁体(106)、B圆柱磁体(107)、C圆柱磁体(108)的一端分别粘接在A弹簧(101)、B弹簧(102)、C弹簧(103)的十字簧上；所述A弹簧(101)、B弹簧(102)和C弹簧(103)结构相同，其中，B弹簧(102)的中心是十字簧(121)，十字簧(121)的两侧分别为左簧片(123)、右簧片(122)；弹簧基板(1)上采用喷涂工艺制备有导电层；

所述线圈基座(6)呈三角形布局设有A线圈孔(611)、B线圈孔(612)、C线圈孔(613)，呈矩形开设有四个E通孔(604)，线圈基座(6)的四个角分别设有F通孔(605)，沿线圈基座(6)的右侧面(606)开有出线槽(607)；在线圈基座(6)的A线圈孔(611)、B线圈孔(612)、C线圈孔(613)中分别安装有A线圈(601)、B线圈(602)、C线圈(603)；所述A线圈(601)、B线圈(602)、C线圈(603)结构相同。

2.根据权利要求1所述的微小型原子力显微镜的驱动装置，其特征在于：弹簧基板(1)上A弹簧(101)、B弹簧(102)、C弹簧(103)按三角形的分布且与T形架(104)的T形架A端(111)、T形架B端(112)、T形架C端(113)相对应。

3.根据权利要求1所述的微小型原子力显微镜的驱动装置，其特征在于：弹簧基板(1)为采用聚酰亚胺加工制作成厚度为0.02～0.2mm的簿板。

4.根据权利要求1所述的微小型原子力显微镜的驱动装置，其特征在于：弹簧基板(1)上的导电层为铜、金材质。

5.根据权利要求1所述的微小型原子力显微镜的驱动装置，其特征在于：A线圈(601)、B线圈(602)、C线圈(603)所需电压为±20V。

6.根据权利要求1所述的微小型原子力显微镜的驱动装置，其特征在于：整个驱动装置尺寸为30.5mm×20.5mm×12.8mm，质量15～50g。