[发明专利]水平式探针卡的探针无效
| 申请号： | 200810109529.1 | 申请日： | 2008-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN101592682A | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 陈彬龙;陈皇志 | 申请（专利权）人： | 祐邦科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/28;G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所（普通合伙） | 代理人： | 翟 羽 |
| 地址： | 台湾省新竹市光*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种水平式探针卡(cantilevel probe card，环氧树脂环探针卡)的探针，本发明的技术手段主要是：在水平式探针卡的探针针尖处约5～10密耳的表面上，镀上纳米镀膜厚度为1～20纳米的高导电性高分子材料，经由这种镀膜过程，本发明的水平式探针的纳米镀膜可以有效地使探针具备不沾粘、高导电性、降低接触力、延长寿命的优良品质，因此可以提升晶圆测试良率，降低探针清洁的频率，并且降低整体测试成本。 | ||
| 搜索关键词： | 水平 探针 | ||
【主权项】：
1.一种水平式探针卡的探针，其特征在于：所述的水平式探针卡包括：多数个探针及导电高分子纳米镀膜，其中这些探针为金属材料，装置于所述的水平式探针卡上；导电高分子纳米镀膜是镀于这些探针上。
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