[发明专利]水平式探针卡的探针无效

专利信息
申请号: 200810109529.1 申请日: 2008-05-27
公开(公告)号: CN101592682A 公开(公告)日: 2009-12-02
发明(设计)人: 陈彬龙;陈皇志 申请(专利权)人: 祐邦科技股份有限公司
主分类号: G01R1/073 分类号: G01R1/073;G01R31/28;G01R31/26
代理公司: 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 代理人: 翟 羽
地址: 台湾省新竹市光*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 水平 探针
【权利要求书】:

1.一种水平式探针卡的探针,其特征在于:所述的水平式探针卡包括:多数个探针及导电高分子纳米镀膜,其中这些探针为金属材料,装置于所述的水平式探针卡上;导电高分子纳米镀膜是镀于这些探针上。

2.如权利要求1所述的水平式探针卡的探针,其特征在于:所述的导电高分子纳米镀膜是一种具有不沾粘性质的导电性高分子材料。

3.如权利要求2所述的水平式探针卡的探针,其特征在于:所述的导电性高分子材料是聚吡咯、聚对苯撑乙烯、聚噻吩、聚苯胺或上述群组中至少择一选择的组合物或其衍生物。

4.如权利要求1或3所述的水平式探针卡的探针,其特征在于:所述的导电高分子纳米镀膜的厚度为1~20纳米。

5.如权利要求1或3所述的水平式探针卡的探针,其特征在于:所述的导电高分子纳米镀膜的厚度为1~5纳米。

6.如权利要求1所述的水平式探针卡的探针,其特征在于:所述的金属材料是镍、金、铜、钨、铼、钛、铍、具导电性的金属材料或其合金。

7.如权利要求6所述的水平式探针卡的探针,其特征在于:所述的合金是铼钨或铍铜。

8.如权利要求1所述的水平式探针卡的探针,其特征在于:这些探针的结构为一金属微弹簧或一金属线针。

9.如权利要求1所述的水平式探针卡的探针,其特征在于:所述的导电高分子纳米镀膜是一种化学镀膜。

10.如权利要求1所述的水平式探针卡的探针,其特征在于:所述的导电高分子纳米镀膜是镀在垂直于这些探针的针尖处5~10密耳的表面上。

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