[发明专利]微机电致动装置有效
| 申请号: | 200810100683.2 | 申请日: | 2008-05-19 |
| 公开(公告)号: | CN101364774A | 公开(公告)日: | 2009-02-11 |
| 发明(设计)人: | 王丛舜 | 申请(专利权)人: | 香港应用科技研究院有限公司 |
| 主分类号: | H02N1/00 | 分类号: | H02N1/00;H01L49/00;B81B3/00 |
| 代理公司: | 深圳创友专利商标代理有限公司 | 代理人: | 江耀纯 |
| 地址: | 中国香港新界沙田香港科*** | 国省代码: | 中国香港;81 |
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| 摘要: | 本发明提供了一种微机电(MEM)致动装置,其包括一个可动部分,其包括一个具有至少一个倾斜面的倾斜部分,以及多个位于可动部分至少一个边上的可动梳齿(comb)。微机电致动装置可以大幅降低所需的致动电压,并且不需增加空间占用,从而节省芯片空间,且可以提供监控可动部分的功能。 | ||
| 搜索关键词: | 微机 电致动 装置 | ||
【主权项】:
1.一种微机电致动装置,其包括:一个可动部分,其包含:一个倾斜部分,其具有至少一个倾斜面;以及多个可动梳齿,其位于所述可动部分的至少一个边上。
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