[发明专利]微机电致动装置

权利要求书

1.一种微机电致动装置，其包括：

一个可动部分，其包含：

一个倾斜部分，其具有至少一个倾斜面；

多个可动梳齿，其位于所述可动部分的至少一个边上；

一个基座，其位于所述可动部分的底部；以及

一个静止部分，其位于所述可动部分的周围；

所述静止部分具有多个静止梳齿，与所述多个可动梳齿相互交错；

在所述基座上还有至少一个电极结构，其分别对应于所述可动部分的至少一个倾斜面；电极结构的材料具备导电性；在所述倾斜表面上还具有平板电极，与基座的电极结构相互作用以致动可动部分转动。

2.根据权利要求1所述的微机电致动装置，其中所述基座是由玻璃及/或其它不导电材料制成。

3.根据权利要求1所述的微机电致动装置，其中所述基座是由硅及/或其它半导体材料制成。

4.一种微机电致动装置，其包括：

一个可动部分，其包含多个可动梳齿，位于所述可动部分的至少一个边上；

一个基座，其位于所述可动部分的底部，包含至少一个倾斜面，以及倾斜面上具有平板电极；以及

一个静止部分，其位于所述可动部分的周围；

在所述倾斜表面上的平板电极与可动部分底部的电极相互作用以致动可动部分转动；

所述静止部分具有多个静止梳齿，与所述多个可动梳齿相互交错。

5.根据权利要求4所述的微机电致动装置，其中所述基座是由玻璃及/或其它不导电材料制成。 

6.根据权利要求4所述的微机电致动装置，其中所述基座是由硅及/或其它半导体材料制成。

7.一种微机电装置，其包含：

一个微机电致动装置，其包括：

一个可动部分，其包含：

一个倾斜部分，其具有至少一个倾斜面；以及

多个可动梳齿，其位于所述可动部分的至少一个边上；

一个镜面，其被配置在所述微机电致动装置上；

一个基座，其位于所述可动部分的底部；以及

一个静止部分，其位于所述可动部分的周围；

在所述基座上还有至少一个电极结构，其分别对应于所述可动部分的至少一个倾斜面；电极结构的材料具备导电性；在所述倾斜表面上还具有平板电极，与基座的电极结构相互作用以致动可动部分转动；

所述静止部分具有多个静止梳齿，与所述多个可动梳齿相互交错。

8.根据权利要求7所述的微机电致动装置，其中所述基座是由玻璃及/或其它不导电材料制成。

9.根据权利要求7所述的微机电致动装置，其中所述基座是由硅及/或其它半导体材料制成。

10.一种微机电装置，其包含：

一个微机电致动装置，其包括：

一个可动部分，包含多个可动梳齿，位于所述可动部分的至少一个边上；以及

一个基座，其位于所述可动部分的底部，包含至少一个倾斜面；以及

倾斜面上具有平板电极；以及

一个镜面，其被配置在所述微机电致动装置上；以及 

一个静止部分，其位于所述可动部分的周围；

所述静止部分具有多个静止梳齿，与所述多个可动梳齿相互交错；

在所述倾斜表面上的平板电极，与可动部分底部的电极相互作用以致动可动部分转动。

11.根据权利要求10所述的微机电致动装置，其中所述基座是由玻璃及/或其它不导电材料制成。

12.根据权利要求10所述的微机电致动装置，其中所述基座是由硅及/或其它半导体材料制成。