[发明专利]光学检查装置无效
申请号: | 200810097940.1 | 申请日: | 2008-05-16 |
公开(公告)号: | CN101308099A | 公开(公告)日: | 2008-11-19 |
发明(设计)人: | 崔铉镐;金敏秀 | 申请(专利权)人: | AJU高技术公司 |
主分类号: | G01N21/956 | 分类号: | G01N21/956;G01R31/309;G01B11/00 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 李雪春;武玉琴 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供一种光学检查装置,可以防止因检查对象的折弯、下垂等造成的畸变现象。本发明的光学检查装置包括:载物台,放置检查对象;拍摄单元,对放置在所述载物台上的检查对象进行拍摄;照明单元,对所述检查对象照射光;以及滚动构件,支撑用所述拍摄单元进行拍摄的区域的边缘,保持拍摄区域的平整度。 | ||
搜索关键词: | 光学 检查 装置 | ||
【主权项】:
1.一种光学检查装置,其特征在于包括:载物台,放置检查对象;拍摄单元,对放置在所述载物台上的检查对象进行拍摄;照明单元,对所述检查对象照射光;以及滚动构件,支撑用所述拍摄单元进行拍摄的区域的边缘,保持拍摄区域的平整度。
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