[发明专利]光学检查装置

权利要求书

1.一种光学检查装置，其特征在于包括：

载物台，放置检查对象；

拍摄单元，对放置在所述载物台上的检查对象进行拍摄；

照明单元，对所述检查对象照射光；以及

滚动构件，支撑用所述拍摄单元进行拍摄的区域的边缘，保持拍摄 区域的平整度。

2.根据权利要求1所述的光学检查装置，其特征在于，所述滚动构 件是具有与所述检查对象滚动接触的滚珠的滚珠式滚动轮。

3.根据权利要求1所述的光学检查装置，其特征在于，还包括直线 移动单元，使所述载物台沿前后方向移动，以便所述拍摄单元连续拍摄 所述检查对象。

4.根据权利要求1所述的光学检查装置，其特征在于，

所述拍摄单元包括以线扫描方式进行拍摄的线扫描摄像机，

所述滚动构件支撑用所述线扫描摄像机进行拍摄的所述拍摄区域的 两端。

5.根据权利要求1所述的光学检查装置，其特征在于，

所述拍摄单元包括以面扫描方式进行拍摄的面扫描摄像机，

所述滚动构件支撑用所述面扫描摄像机进行拍摄的所述拍摄区域的 角部。

6.根据权利要求1所述的光学检查装置，其特征在于，

所述照明单元至少包括：

透射照明构件，向所述检查对象照射透射光；或

反射照明构件，向所述检查对象照射反射光。

7.根据权利要求1所述的光学检查装置，其特征在于，所述载物台 支撑所述检查对象的左右侧边缘，并具有沿前后移动方向敞开的空间， 使所述滚动构件位于所述检查对象的下方。

8.根据权利要求1所述的光学检查装置，其特征在于，

所述载物台包括：

机身，具有沿前后移动方向敞开的空间，使所述滚动构件位于所述 检查对象的下方；以及

支架，位于所述机身的上层，支撑所述检查对象的左右侧边缘。

9.根据权利要求8所述的光学检查装置，其特征在于，所述载物台 还包括定位构件，对放置在所述支架上的所述检查对象的位置进行定位。

10.根据权利要求1所述的光学检查装置，其特征在于，还包括水 平支撑台，沿所述载物台的前后移动方向水平设置，并通过所述载物台 敞开的空间，其上设置有所述滚动构件。

11.一种光学检查装置，其特征在于包括：

载物台，放置检查对象；

拍摄单元，对放置在所述载物台上的检查对象进行拍摄；

照明单元，对所述检查对象照射光；其中，

所述载物台包括滚动构件，其与检查对象滚动接触，保持检查对象 的平整度。

12.根据权利要求11所述的光学检查装置，其特征在于，所述滚动 构件包括多个滚珠，以规定间隔支撑用所述拍摄单元进行拍摄的检查对 象的拍摄区域边缘。

13.根据权利要求12所述的光学检查装置，其特征在于，还包括直 线移动单元，使所述载物台与所述滚动构件一起在所述拍摄单元的拍摄 区域移Q动，以便所述拍摄单元连续拍摄检查对象。

14.根据权利要求12所述的光学检查装置，其特征在于， 所述照明单元包括：

透射照明构件，向所述检查对象照射透射光；以及

反射照明构件，向所述检查对象照射反射光。