[发明专利]在平板显示器制造工艺中在基底上制造铜层的改进的方法

摘要

本发明涉及在平板显示器制造工艺中在基底上制造铜层的方法和装置，其中铜无电极地沉积在基底上以形成铜互连层。使用铜溶液在基底上形成铜互连层，该铜溶液含有：作为铜源的CuSO₄5H₂O，作为络合剂的酒石酸钾钠或柠檬酸三钠，作为还原剂的乙醛酸盐/酯、乙醛酸或磷酸钠，作为稳定剂的硫有机化合物，和pH调节剂。

主权项

1.通过在基底上无电极地沉积铜互连层而在用于制造平板显示器的基底上制造铜层的方法，包括：a)提供基底；b)在至少部分基底上提供催化层；和c)通过使所述被催化的部分暴露于铜溶液，在基底的至少部分被催化的部分上提供铜层，并由此形成镀铜基底，其中所述铜溶液包含：1)作为铜源的CuSO45H2O；2)络合剂，包含酒石酸钾钠4H2O或柠檬酸三钠2H2O；3)还原剂，包含选自由乙醛酸盐/酯、乙醛酸或磷酸钠H2O组成的组中的至少一种；4)稳定剂，包含硫有机化合物；和5)pH调节剂，其在室温将铜溶液的pH值调节为9至12.5。