[发明专利]半导体器件及其微调方法无效

专利信息
申请号: 200810088175.7 申请日: 2008-02-21
公开(公告)号: CN101252128A 公开(公告)日: 2008-08-27
发明(设计)人: 上村启介 申请(专利权)人: 精工电子有限公司
主分类号: H01L27/00 分类号: H01L27/00;H01L23/525;H01L23/544;H01L21/00;H01L21/82;H01L21/768;H01L21/66
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 张雪梅;刘宗杰
地址: 日本千叶*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明涉及半导体器件及其微调方法。所提供的是一种半导体器件,包括具有熔丝的分割电阻器,以及通过从具有熔丝的分割电阻器除去熔丝而得到的用于测量相对精确度的分割电阻器。测量用于测量相对精确度的分割电阻器的特征值以便获得微调数据,以及随后微调具有熔丝的分割电阻器,从而获得具有高精确特性的半导体器件。
搜索关键词: 半导体器件 及其 微调 方法
【主权项】:
1.一种半导体器件,包括电阻器电路,该电阻器电路包括:具有熔丝的第一分割电阻器;以及用于测量相对精确度的第二分割电阻器,其被设计为与第一分割电阻器具有相同的电阻并且没有熔丝,其中:基于测量的第二分割电阻器的特征值,计算出该熔丝的微调数据;以及基于微调数据,微调第一分割电阻器。
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