[发明专利]驱动控制微机械装置的设备和方法有效
| 申请号： | 200810086194.6 | 申请日： | 2008-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN101276691A | 公开（公告）日： | 2008-10-01 |
| 发明（设计）人： | 米泽游;岛内岳明;三岛直之;上田知史;宓晓宇;今井雅彦 | 申请（专利权）人： | 富士通株式会社 |
| 主分类号： | H01G7/06 | 分类号： | H01G7/06;H01G7/00;B81B7/02;H01H47/00;H01L41/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张龙哺;陈晨 |
| 地址： | 日本神奈*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种驱动控制微机械装置的设备和方法。在所述驱动控制微机械装置的方法中，所述微机械装置包括两个相对的电极和夹在电极之间的电介质层，在两个所述电极之间提供控制电压，所述控制电压为正极性和负极性交替反转的矩形波形。关于正侧和负侧检测由于提供所述控制电压而通过所述微机械装置的电流，基于检测到的电流，关于所述正侧和负侧获取与所述微机械装置的电容有关的参数。将所述控制电压控制为使得关于所述正侧和负侧获取的所述参数互相一致。这样，在可变电容装置的交换驱动中可抑制电容在正侧与负侧之间的变化。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动 控制 微机 装置 设备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种驱动控制微机械装置的方法，所述微机械装置包括两个相对的电极和夹在电极之间的电介质层，所述方法包括步骤：在两个所述电极之间提供控制电压，所述控制电压为正极性和负极性交替反转的矩形波形；关于正侧和负侧检测由于提供所述控制电压而通过所述微机械装置的电流；基于检测到的电流，关于所述正侧和负侧获取与所述微机械装置的电容有关的参数；以及将所述控制电压控制为使得关于所述正侧和负侧获取的所述参数互相一致。
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