[发明专利]驱动控制微机械装置的设备和方法

权利要求书

1、一种驱动控制微机械装置的方法，所述微机械装置包括两个相对的电极和夹在电极之间的电介质层，所述方法包括步骤：

在两个所述电极之间提供控制电压，所述控制电压为正极性和负极性交替反转的矩形波形；

关于正侧和负侧检测由于提供所述控制电压而通过所述微机械装置的电流；

基于检测到的电流，关于所述正侧和负侧获取与所述微机械装置的电容有关的参数；以及

将所述控制电压控制为使得关于所述正侧和负侧获取的所述参数互相一致。

2、一种驱动控制微机械装置的方法，所述微机械装置包括两个相对的电极和夹在电极之间的电介质层，所述方法包括步骤：

在两个所述电极之间提供控制电压，所述控制电压为正极性和负极性交替反转的矩形波形；

关于正侧和负侧检测由于提供所述控制电压而通过所述微机械装置的电流；

基于检测到的电流，关于所述正侧和负侧获取与所述微机械装置的电容有关的参数；以及

将所述控制电压控制为使得关于所述正侧和负侧获取的所述参数与关于所述参数设定的基准值一致。

3、一种驱动控制微机械装置的方法，所述微机械装置包括两个相对的电极和夹在电极之间的电介质层，所述方法包括步骤：

在两个所述电极之间提供控制电压，所述控制电压为正极性和负极性交替反转的矩形波形；以及

将所述控制电压的大小控制为使得在所述矩形波形的正部分和所述矩形波形的负部分，所述矩形波形的上升沿的电流峰值减少到给定比率所经过的时间相等。

4、一种驱动控制微机械装置的方法，所述微机械装置包括两个相对的电极和夹在电极之间的电介质层，所述方法包括步骤：

在两个所述电极之间提供控制电压，所述控制电压为正极性和负极性交替反转的矩形波形；以及

将所述控制电压的大小控制为使得所述矩形波形的上升沿的电流峰值减少到给定比率所经过的时间与给定的设定值一致。

5、如权利要求4所述的驱动控制微机械装置的方法，

其中，所述给定比率为36.8％，以及

所述给定的设定值等于用所述控制电压给在两个所述电极之间形成的电容充电时得到的时间常数τ。

6、一种驱动控制微机械装置的方法，所述微机械装置包括两个相对的电极和夹在电极之间的电介质层，所述方法包括步骤：

在两个所述电极之间提供控制电压，所述控制电压为正极性和负极性交替反转的矩形波形；

检测在所述矩形波形的上升沿得到的电流峰值；

检测在所述矩形波形中的电流的平均值；

基于检测到的所述峰值和检测到的所述平均值得到时间常数τ；

降低在所得到的时间常数τ大于设定值时的一个极性的所述控制电压的绝对值；以及

增加在所得到的时间常数τ小于所述设定值时所述极性的所述控制电压的绝对值。

7、如权利要求6所述的驱动控制微机械装置的方法，

其中，通过将由先前获得的所述电流的峰值、所述电流的平均值、用所述矩形波形对电容充电时的时间常数τ之间的关系产生的时间常数数据存储下来并利用所存储的时间常数数据，获得所述时间常数τ。

8、一种用于驱动控制微机械装置的设备，所述微机械装置包括两个相对的电极和夹在电极之间的电介质层，所述设备包括：

控制电压提供部，用于在两个所述电极之间提供控制电压，所述控制电压为正极性和负极性交替反转的矩形波形；

电流检测部，用于关于正侧和负侧检测由于提供所述控制电压而通过所述微机械装置的电流；

获取部，用于基于检测到的电流，关于所述正侧和负侧获取与所述微机械装置的电容有关的参数；

控制部，用于将所述控制电压控制为使得关于所述正侧和负侧获取的所述参数互相一致。

9、一种用于驱动控制微机械装置的设备，所述微机械装置包括两个相对的电极和夹在电极之间的电介质层，所述设备包括：

控制电压提供部，用于在两个所述电极之间提供控制电压，所述控制电压为正极性和负极性交替反转的矩形波形；

测量部，用于测量所述矩形波形的上升沿的电流峰值减少到给定比率所经过的时间；以及

控制部，用于将所述控制电压的大小控制为使得在所述矩形波形的正部分和所述矩形波形的负部分所测量的时间相等。

10、一种用于驱动控制微机械装置的设备，所述微机械装置包括两个相对的电极和夹在电极之间的电介质层，所述设备包括：

控制电压提供部，用于在两个所述电极之间提供控制电压，所述控制电压为正极性和负极性交替反转的矩形波形；

测量部，用于测量所述矩形波形的上升沿的电流峰值减少到给定比率所经过的时间；以及

控制部，用于将所述控制电压的大小控制为使得所测量的时间与给定的设定值一致。