[发明专利]可辐射固化显影的聚胺酯以及含其的可辐射固化显影的光阻组成物

摘要

一种可辐射固化显影的聚胺酯，其主链具有羧酸基且侧链具有丙烯酰基与羧酸基，且由所述重复单元(I)、(II)及(III)以无规排列所构成，其中：R¹为C_1-12直链或分支亚烷基、C_3-8环状亚烷基、亚苯基、亚联苯基、亚萘基、亚二甲苯基、亚甲苯胺基、-Ph-A-Ph-基(其中A为CH₂、-NH-或-O-)，该等基又可视情况经C_1-6烷基取代；R²为二价脂族基，其上又可具有一或多个OH取代基，该OH取代基又可视情况进而与二异氰酸酯反应；R³为具有一或多个OH取代基的直链或分支链的C_1-6烷基，该OH取代基又可视情况进而与二异氰酸酯反应；R⁴为H或CH₃；且T选自上列所组成组群之一或多个取代基，该聚胺酯以凝胶渗透层析所测定的重量平均分子量(Mw)为3,000～400,000；酸值为5～120mgKOH/g。本发明亦有关一种含此聚胺酯的可辐射固化显影的光阻组成物。

主权项

1、一种可辐射固化显影的聚胺酯，其特征在于：其主链具有羧酸基且侧链具有丙烯酰基与羧酸基，且由下述重复单元(I)、(II)及(III)以无规排列所构成：其中：R¹为C_1-12直链或分支亚烷基、C_3-8环状亚烷基、亚苯基、亚联苯基、亚萘基、亚二甲苯基、亚甲苯胺基、-Ph-A-Ph-基，其中A为CH₂、-NH-或-O-，该等基又可视情况经C_1-6烷基取代；R²为二价脂族基，其上又可具有一或多个OH取代基，该OH取代基又可视情况进而与二异氰酸酯反应；且R³为具有一或多个OH取代基的直链或分支链的C_1-6烷基，该OH取代基又可视情况进而与二异氰酸酯反应；R⁴代表H或CH₃；且T选自下列所组成组群的一个或多个取代基：—C＝C—及该聚胺酯以凝胶渗透层析所测定的重量平均分子量为3,000～400,000；且酸值为5～120mg KOH/g。