[发明专利]可辐射固化显影的聚胺酯以及含其的可辐射固化显影的光阻组成物

权利要求书

1.一种可辐射固化显影的聚胺酯，其特征在于：其主链具有羧酸基且侧链具有丙烯酰基与羧酸基，且由下述重复单元(I)、(II)及(III)以无规排列所构成：

其中：

R¹为C_1-12直链或分支亚烷基、C_3-8环状亚烷基、亚苯基、亚联苯基、亚萘基、亚二甲苯基、亚甲苯胺基、-Ph-A-Ph-基，其中A为CH₂、-NH-或-O-，该等基又可经C_1-6烷基取代；

R²为二价脂族基，其上又可具有一或多个OH取代基，该OH取代基又可进而与二异氰酸酯反应；

且R³为具有一或多个OH取代基的直链或分支链的C_1-6烷基，该OH取代基又可进而与二异氰酸酯反应；

R⁴代表H或CH₃；

且T选自下列所组成组群的一个或多个取代基：

该聚胺酯以凝胶渗透层析所测定的重量平均分子量为3,000～400,000；且酸值为5～120mg KOH/g。

2.如权利要求1所述的可辐射固化显影的聚胺酯，其特征在于：所述聚胺酯的重量平均分子量为6,000～80,000。

3.如权利要求1所述的可辐射固化显影的聚胺酯，其特征在于：所述聚胺酯的酸值为10～60mg KOH/g。

4.一种可辐射固化显影的光阻组成物，其特征在于：其包括下列有效成份：上述权利要求1至3中任一项的聚胺酯、丙烯酸酯单体、及光起始剂；其中该聚胺酯与该丙烯酸酯单体的重量比例为40～90∶10～60；且该光起始剂的使用量为该聚胺酯及丙烯酸酯单体总重的1～50％重量。

5.如权利要求4所述的可辐射固化显影的光阻组成物，其特征在于：进一步包括接着助剂，该接着助剂的使用量为该聚胺酯及丙烯酸酯单体总重的0.1～5％重量。

6.如权利要求4所述的可辐射固化显影的光阻组成物，其特征在于：进一步包括着色剂，该着色剂的使用量为该聚胺酯及丙烯酸酯单体总重的70～600％重量。

7.如权利要求4所述的可辐射固化显影的光阻组成物，其特征在于：进一步包括分散剂，该分散剂的使用量为该聚胺酯及丙烯酸酯单体总重的3～15％重量。

8.如权利要求4所述的可辐射固化显影的光阻组成物，其特征在于：进一步包括溶剂，该溶剂的使用量为该聚胺酯及丙烯酸酯单体总重的200～2500％重量。