[发明专利]半球形介电弹性体驱动器的制造方法

摘要

半球形介电弹性体驱动器的制造方法，它涉及一种驱动器的制造方法。本发明的目的是为解决现有的驱动器制造方法生产的驱动器存在的所需响应时间长、噪音大、体积大、耗电量大、柔性差、生物兼容性差的问题。本发明的主要步骤是a.预拉伸介电弹性体薄膜；b.预制软片；c.将介电弹性体薄膜粘覆在软片上；d.涂覆电极；e.将介电弹性体薄膜的内立面贴合；f.将介电弹性体薄膜与基板贴合；g.引出铝箔；h.钻充气孔，安装气嘴，充气后密封。本发明生产的驱动器在面部表情、航空航天、机器人、机器昆虫、人工肌肉、噪声控制、触觉接口、肌肉的复位与增长、液体和气体流量控制等众多领域有着广泛应用。

主权项

1、半球形介电弹性体驱动器的制造方法，其特征在于所述半球形介电弹性体驱动器的制造方法是这样完成的：a、将两个介电弹性体薄膜(1)进行预拉伸；b、将两个软片(2)对折，压出折痕，然后还原，再分别以两个软片(2)各自的中心为圆心，裁剪出半径为5cm的圆孔(2-2)；c、将预拉伸的两个介电弹性体薄膜(1)分别贴覆在两个软片(2)的内表面(2-1)上，在介电弹性体薄膜(1)回复力的作用下软片(2)沿折痕立起呈直角形，每个介电弹性体薄膜(1)在每个软片(2)的圆孔(2-2)处形成1/4球形薄膜(1-3)；d、在两个介电弹性体薄膜(1)的1/4球形薄膜(1-3)的内外表面上分别涂覆第一电极(4)和第二电极(8)；e、将预拉伸的两个介电弹性体薄膜(1)上端的内立面(1-1)贴合；f、将预拉伸的两个介电弹性体薄膜(1)的底端面(1-2)与基板(3)的上端面贴合，第一电极(4)与基板(3)之间形成半球形空间(7)；g、第一电极(4)的外表面上以软片(2)为界左右各引出一条第一铝箔(5)；h、第二电极(8)的外表面上以软片(2)为界左右各引出一条第二铝箔(9)；j、在基板(3)上钻充气孔(6)，充气孔(6)与半球形空间(7)相通，k、充气孔(6)内安装气嘴，充气后拔下气嘴并密封。