[发明专利]高偏振单偶极模的光子晶体微腔结构无效
申请号: | 200810057179.9 | 申请日: | 2008-01-30 |
公开(公告)号: | CN101499622A | 公开(公告)日: | 2009-08-05 |
发明(设计)人: | 郑婉华;陈微;邢名欣;任刚;周文君;刘安金;陈良惠 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S5/10 | 分类号: | H01S5/10;H01S5/34;H01S3/08 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 100083北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种高偏振单偶极模的光子晶体微腔结构,该结构采用准三维的光子晶体薄板结构,由形成于半导体材料薄板上的空气孔构成,该结构的中心为缺陷腔,与缺陷腔最邻近六个空气孔的半径小于其他空气孔的半径,该结构在半导体材料薄板平面的纵向(y方向)上进行了拉伸。利用本发明,能够获得高偏振的单偶极模,并且在工艺上也较为容易实现。 | ||
搜索关键词: | 偏振 单偶极模 光子 晶体 结构 | ||
【主权项】:
1、一种高偏振单偶极模的光子晶体微腔结构,其特征在于,该结构采用准三维的光子晶体薄板结构,由形成于半导体材料薄板上的空气孔构成,该结构的中心为缺陷腔,与缺陷腔最邻近六个空气孔的半径小于其他空气孔的半径,该结构在半导体材料薄板平面的纵向进行了拉伸。
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