[发明专利]等离子体处理装置无效
| 申请号： | 200810055657.2 | 申请日： | 2008-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN101478857A | 公开（公告）日： | 2009-07-08 |
| 发明（设计）人： | 南建辉;宋巧丽 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 100016北京市朝*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体处理装置，包括相对应设置的射频驱动电极(25)和无源电极(22)；第一接地环(23)围绕所述无源电极(22)并与其相互绝缘，第二接地环(26)围绕所述射频驱动电极(25)并与其相互绝缘；所述射频驱动电极(25)分别连接第一射频电源(271)和第二射频电源(272)；所述无源电极(22)与地线之间串接第一阻抗调节元件。本发明所提供的等离子体处理装置克服了现有技术中等离子体能量只能在特定的几个孤立值之间转换这一缺陷，可以在同一反应腔室中实现更多具有不同等离子体密度要求的工艺过程。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
1、一种等离子体处理装置，包括相对应设置的射频驱动电极(25)和无源电极(22)；第一接地环(23)围绕所述无源电极(22)并与其相互绝缘，第二接地环(26)围绕所述射频驱动电极(25)并与其相互绝缘；所述射频驱动电极(25)分别连接第一射频电源(271)和第二射频电源(272)；其特征在于，所述无源电极(22)与地线之间串接第一阻抗调节元件。
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