[发明专利]一种三维微型模具的制造方法

摘要

本发明提供了一种三维微型模具的制造方法，在各硅片上分别刻蚀出与待制造零件各层结构相应的图形，将质量百分比98％的H₂SO₄与质量百分比30％的H₂O₂按照体积比2～4∶1混合，采用此混合溶液对各硅片进行清洗，然后活化，再将活化后的硅片干燥，按层次迅速对准贴合，最后进行退火处理得到三维微型模具型腔。本发明能够制造出微米尺度的三维微型模具，具有精度高，成本低，柔性大的优点，适用于微齿轮轴、微阶梯轴、高深宽比三维微型结构等微机电系统(MEMS)器件模具的加工制造。

主权项

1、一种三维微型模具的制造方法，包括以下步骤：(1)对待制造零件在垂直方向上进行分层，每层厚度为10微米～300微米；(2)选择数量与待制造零件分层数相同的硅片，在各硅片上分别刻蚀出与待制造零件各层结构相应的图形；(3)将质量百分比98％的H2SO4与质量百分比30％的H2O2按照体积比2～4∶1混合，采用此混合溶液对各硅片进行清洗；(4)对各硅片进行活化；(5)将活化后的硅片干燥，按层次快速对准贴合；(6)将贴合好的硅片放入退火炉内进行退火处理得到三维微型模具型腔。