[发明专利]一种三维微型模具的制造方法无效
| 申请号： | 200810047229.5 | 申请日： | 2008-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN101293628A | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | 史铁林;廖广兰;王栋;聂磊;汤自荣;彭平;阮传值 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | B81C5/00 | 分类号： | B81C5/00 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 三维 微型 模具 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种三维微型模具的制造方法，包括以下步骤：
(1)对待制造零件在垂直方向上进行分层，每层厚度为10微米～300微米；
(2)选择数量与待制造零件分层数相同的硅片，在各硅片上分别刻蚀出与待制造零件各层结构相应的图形；
(3)将质量百分比98％的H2SO4与质量百分比30％的H2O2按照体积比2～4∶1混合，采用此混合溶液对各硅片进行清洗；
(4)对各硅片进行活化；
(5)将活化后的硅片干燥，按层次快速对准贴合；
(6)将贴合好的硅片放入退火炉内进行退火处理得到三维微型模具型腔。
2.根据权利要求1所述的一种三维微型模具的制造方法，其特征在于，所述步骤(5)按照从上往下的顺序贴合。
3.根据权利要求1所述的一种三维微型模具的制造方法，其特征在于，所述步骤(6)的退火时间为8～15小时，退火温度为400～500℃。
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