[发明专利]禁带宽度连续可调的多元合金氧化物薄膜材料及制备方法

摘要

本发明公开了一种禁带宽度连续可调的多元合金氧化物薄膜材料及制备方法，特征在于所述的薄膜材料的组成为Zn_1－x－yBe_xMg_yO，其中x、y为摩尔分数，且0≤x≤1，0≤y≤1，0≤x+y≤1，晶体结构为六方纤锌矿结构。通过调节薄膜材料中Be和Mg的含量，其禁带宽度在3.3～10.8eV范围内连续可调。与ZnMgO合金薄膜体系相比，其禁带宽度可以在更大范围内连续调节，并且保持单一六方纤锌矿结构，没有分相产生；与BeZnO合金薄膜体系相比，其晶格失配度较低，具有更高的结晶质量。该锌铍镁氧多元合金氧化物薄膜在短波长光电器件领域具有广泛的应用前景。

主权项

1、一种禁带宽度连续可调的多元合金氧化物薄膜材料，其特征在于所述的薄膜材料的组成通式为Zn1-x-yBexMgyO，其中x、y为摩尔分数，且0≤x≤1，0≤y≤1，0≤x+y≤1。