[发明专利]一种自定心装置有效
| 申请号: | 200810040330.8 | 申请日: | 2008-07-08 |
| 公开(公告)号: | CN101320217A | 公开(公告)日: | 2008-12-10 |
| 发明(设计)人: | 吴荣基;朱岳彬;陈慧 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 王洁 |
| 地址: | 201203*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | 本发明提供一种自定心装置,包括手轮、螺母I、顶盖、凸轮I、滚柱、柔性膨胀环、圆盘、螺纹定位销I、弹性套筒、盘体、轴承、螺纹定位销II、传力盘、螺母II、凸轮II、导杆和下端盖;凸轮I和凸轮II可以导杆实现同步旋转,凸轮I带动传力盘向外径向运动,实现和定位基准面的接触,凸轮II通过滚柱使柔性膨胀环向外膨胀,实现和所需定位工件的接触;自定心装置自身无间隙,并且也实现定位过程中的无间隙接触,自定心装置自身精度可以根据要求调整,因此可以实现对工件较高精度级别的位置定位。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 定心 装置 | ||
【主权项】:
1.一种自定心装置,包括:手轮(2)、螺母I(3)、顶盖(6)、凸轮I(7)、滚柱(8)、柔性膨胀环(9)、圆盘(11)、螺纹定位销I(10)、弹性套筒(12)、盘体(13)、轴承(14)、螺纹定位销II(15)、传力盘(16)、螺母II(17)、凸轮II(18)、导杆(19)和下端盖(20),其特征在于,弹性套筒(12)穿过导杆(19)安装在盘体(13)的中心孔中,弹性套筒(12)带有锥面,其锥面与盘体(13)的锥面捏合;轴承(14)穿过导杆(19)安装在盘体(13)的中心孔中,轴承(14)的端面与弹性套筒(12)的端面接触;螺母II(17)通过螺纹安装到导杆(19)上;螺纹定位销II(15)通过螺纹安装到盘体(13)的下端面上;凸轮II(18)穿过导杆(19)安装在盘体(13)的下端面上,用螺母将凸轮II(18)固定;传力盘(16)穿过螺纹定位销II(15)安装在盘体(13)的下端面上;下端盖(20)穿过导杆(19)安装在盘体(13)的下端面上,用内六角圆柱头螺钉(21)将下端盖(20)固定;圆盘(11)穿过导杆(19)安装在盘体(13)的上端面上;螺纹定位销I(10)通过螺纹安装在盘体(13)的上端面上,柔性膨胀环(9)穿过导杆(19)和螺纹定位销I(10)安装在盘体(13)的上端面上,凸轮I(7)穿过导杆(19)安装在圆盘(11)上;滚柱(8)安装在凸轮I(7)和柔性膨胀环(9)的间隙中间;顶盖(6)利用内六角圆柱头螺钉(5)安装在盘体(13)上,螺母I(3)穿过导杆(19)安装在顶盖(6)上,通过定位销(4)实现螺母I(3)和顶盖(6)之间固定;手轮(2)通过螺母固定安装在导杆(19)上。
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