[发明专利]一种自定心装置有效
| 申请号: | 200810040330.8 | 申请日: | 2008-07-08 |
| 公开(公告)号: | CN101320217A | 公开(公告)日: | 2008-12-10 |
| 发明(设计)人: | 吴荣基;朱岳彬;陈慧 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 王洁 |
| 地址: | 201203*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 定心 装置 | ||
1.一种自定心装置,包括:手轮(2)、螺母I(3)、顶盖(6)、凸轮I(7)、滚柱(8)、柔性膨胀环(9)、圆盘(11)、螺纹定位销I(10)、弹性套筒(12)、盘体(13)、轴承(14)、螺纹定位销II(15)、传力盘(16)、螺母II(17)、凸轮II(18)、导杆(19)和下端盖(20),其特征在于,弹性套筒(12)穿过导杆(19)安装在盘体(13)的中心孔中,弹性套筒(12)带有锥面,其锥面与盘体(13)的锥面捏合;
轴承(14)穿过导杆(19)安装在盘体(13)的中心孔中,轴承(14)的端面与弹性套筒(12)的端面接触;
螺母II(17)通过螺纹安装到导杆(19)上;
螺纹定位销II(15)通过螺纹安装到盘体(13)的下端面上;
凸轮II(18)穿过导杆(19)安装在盘体(13)的下端面上,用螺母将凸轮II(18)固定;
传力盘(16)穿过螺纹定位销II(15)安装在盘体(13)的下端面上;
下端盖(20)穿过导杆(19)安装在盘体(13)的下端面上,用内六角圆柱头螺钉(21)将下端盖(20)固定;
圆盘(11)穿过导杆(19)安装在盘体(13)的上端面上;
螺纹定位销I(10)通过螺纹安装在盘体(13)的上端面上,柔性膨胀环(9)穿过导杆(19)和螺纹定位销I(10)安装在盘体(13)的上端面上,凸轮I(7)穿过导杆(19)安装在圆盘(11)上;
滚柱(8)安装在凸轮I(7)和柔性膨胀环(9)的间隙中间;
顶盖(6)利用内六角圆柱头螺钉(5)安装在盘体(13)上,螺母I(3)穿过导杆(19)安装在顶盖(6)上,通过定位销(4)实现螺母I(3)和顶盖(6)之间固定;
手轮(2)通过螺母固定安装在导杆(19)上。
2.根据权利要求1所述自定心装置,其特征在于,所述柔性膨胀环(9)的内环和外环通过若干个分布均匀的加强筋连接而构成,每一个加强筋中间有一个用于实现定位的U型孔。
3.根据权利要求1所述自定心装置,其特征在于,所述导杆(19)会跟随所述手轮(2)旋转,所述凸轮I(7)和所述凸轮II(18)会同步跟随所述导杆(19)旋转;所述凸轮I(7)的旋转会带动和挤压所述滚柱(8),所述滚珠(8)会挤压所述柔性膨胀环(9)的内环,所述柔性膨胀环(9)的内环受挤压力后通过其加强筋传递到所述柔性膨胀环(9)外环上,所述柔性膨胀环(9)的外环受力后向外扩张;所述凸轮II(18)的旋转会带动和挤压所述传力盘(16)。
4.根据权利要求1或3所述自定心装置,其特征在于,所述凸轮I(7)和所述凸轮II(18)具有相同尺寸及形状。
5.根据权利要求1或3所述自定心装置,其特征在于,所述凸轮I(7)和所述凸轮II(18)同时为三面凸轮或者面数大于三面的凸轮。
6.根据权利要求5所述自定心装置,其特征在于,所述三面凸轮是由圆盘被均匀削去三部分圆弧形成。
7.根据权利要求1所述自定心装置,其特征在于,所述导杆(19)会跟随所述手轮(2)旋转,所述螺母II(17)会跟随所述导杆(19)旋转,所述螺母II(17)带动所述轴承(14)旋转,通过所述轴承(14)转接,所述弹性套筒(12)保持静止。
8.根据权利要求1或7所述自定心装置,其特征在于,所述弹性套筒(12)的靠近锥面端开了六个分布均匀的凹槽。
9.根据权利要求1所述自定心装置,其特征在于,所述螺母I(3)的一端是六角形状、另一端是圆柱状,六角形状一端的每一边的中间开半圆孔,用于与所述顶盖(6)中的半圆孔结合。
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