[发明专利]精密切割机台样品定位模板有效
| 申请号： | 200810039988.7 | 申请日： | 2008-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN101620039A | 公开（公告）日： | 2010-01-06 |
| 发明（设计）人： | 陈强;邹丽君;葛挺锋;江秀霞 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;B28D1/22 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 罗 朋 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于精密切割机台的样品定位模板。在半导体制造工艺中通常需要在晶圆片上用精密切割机台切割出一个特定的区域进行检测，这种切割需要准确定位切割位置。目前常用的方法是由技术熟练的工程师通过观察对目标区域作手工定位切割，但是对于45度晶格产品来说，由于切割方向和晶圆片的划片槽成45度角，这种情况下仍然靠人工定位切割区域出现误差的几率很高。采用本发明的样品定位模块，可以方便准确地在样品上添加取样辅助线，最后精密切割机台操作人员可以通过取样辅助线准确地截取样品。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 切割 机台 样品 定位 模板 | ||
【主权项】：
1、一种用于精密切割机台的样品定位模板，其特征在于，所述样品定位模板由透明材料构成，该透明材料构成的样品定位模板包括，样品孔(101)，多个用于确定一矩形的镂空结构的标记窗(102)，所述多个标记窗(102)所确定的矩形以所述样品孔(101)为中心，其两边与水平方向平行，两边与水平方向垂直；所述样品定位模板还包括，第一辅助标线(103)，该第一辅助标线(103)包括与水平方向垂直的线条和/或与水平方向平行的线条；第二辅助标线(104)，该第二辅助标线(104)包括与水平方向成45°角的线条。
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