[发明专利]精密切割机台样品定位模板有效

专利信息
申请号: 200810039988.7 申请日: 2008-07-01
公开(公告)号: CN101620039A 公开(公告)日: 2010-01-06
发明(设计)人: 陈强;邹丽君;葛挺锋;江秀霞 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: G01N1/28 分类号: G01N1/28;B28D1/22
代理公司: 北京市金杜律师事务所 代理人: 罗 朋
地址: 201203*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 精密 切割 机台 样品 定位 模板
【权利要求书】:

1.一种用于精密切割机台的样品定位模板,其特征在于,所述样品定位模板由透明材料构成,该透明材料构成的样品定位模板包括,

第一样品孔(101),

多个镂空结构的标记窗(102),所述多个标记窗(102)中的每个用于确定一矩形,所述多个标记窗(102)所确定的矩形以所述第一样品孔(101)为中心,其两边与水平方向平行,两边与水平方向垂直;

所述样品定位模板还包括,

第一辅助标线(103),该第一辅助标线(103)包括与水平方向垂直的线条和/或与水平方向平行的线条;

第二辅助标线(104),该第二辅助标线(104)包括与水平方向成45°角的线条。

2.根据权利要求1所述的样品定位模板,其特征在于,还包括一个或任多个镂空结构的第二样品孔(101’),所述第二样品孔(101’)形成于所述第一样品孔(101)水平方向的两侧或竖直方向的两侧。

3.根据权利要求1或2所述的样品定位模板,其特征在于,还包括第三辅助标线(105),所述第三辅助标线(105)为垂直相交于所述第一样品孔(101)处的十字交叉图案,由一条水平方向的线段和一条竖直方向的线段组成。

4.根据权利要求1或2所述的样品定位模板,其特征在于,还包括,辅助标记窗(106),所述辅助标记窗(106)为竖直条状的镂空结构,位于所述由多个标记窗(102)所确定的矩形在水平方向上的两侧。

5.根据权利要求1或2所述的样品定位模板,其特征在于,所述标记窗(102)包括其所确定的矩形图案的四角。

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