[发明专利]一种照明均匀性校正装置有效
| 申请号： | 200810033117.4 | 申请日： | 2008-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN101221373A | 公开（公告）日： | 2008-07-16 |
| 发明（设计）人： | 程波涛;李仲禹 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种照明均匀性校正装置，其设置在掩膜版附近或掩模版的光学共轭面附近，包含若干设置在照明光束横截面的校正组件对，沿非扫描方向间隔排列设置，沿扫描方向重叠设置；该校正组件对包含沿扫描方向插入矩形照明场的第一校正组件，和沿扫描反方向插入矩形照明场的第二校正组件；该第一、第二校正组件在扫描方向与光束传输方向截面上呈互相平行的平板状，可分别在扫描方向做至少一维运动；该第一、第二校正组件上设置有随位置变化的透过率分布，且该第一、第二校正组件的透过率分布相反设置。本发明可避免相邻校正组件之间的间隙所导致的漏光和阴影；同时，其可控制扫描方向积分能量的分布，并可控制全照明场的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 照明 均匀 校正 装置 | ||
【主权项】：
1.一种照明均匀性校正装置，设置在掩膜版附近或掩模版的光学共轭面附近，其包含若干设置在照明光束横截面的校正组件对，该若干校正组件对沿非扫描方向间隔排列设置并覆盖整个照明场，沿扫描方向重叠设置并覆盖整个照明场；其特征在于：所述的校正组件对包含沿扫描方向插入矩形照明场的第一校正组件，和沿扫描反方向插入矩形照明场的第二校正组件；所述的第一校正组件和第二校正组件在扫描方向与光束传输方向截面上呈互相平行的平板状，分别在扫描方向做至少一维运动，改变两者之间的相对位置；所述的第一校正组件和第二校正组件上设置有随位置变化而变化的透过率分布，且该第一校正组件的透过率分布与第二校正组件的透过率分布相反设置，即两者在移动方向上具有相反变化趋势的透过率分布。
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