[发明专利]一种照明均匀性校正装置

权利要求书

1.一种照明均匀性校正装置，设置在掩膜版附近或掩模版的光学共轭面附近，其包含若干设置在照明光束横截面的校正组件对，该若干校正组件对沿非扫描方向间隔排列设置并覆盖整个照明场，沿扫描方向重叠设置并覆盖整个照明场；其特征在于：

所述的校正组件对包含沿扫描方向插入矩形照明场的第一校正组件，和沿扫描反方向插入矩形照明场的第二校正组件；

所述的第一校正组件和第二校正组件在扫描方向与光束传输方向截面上呈互相平行的平板状，分别在扫描方向做至少一维运动，改变两者之间的相对位置；

所述的第一校正组件和第二校正组件上设置有随位置变化而变化的透过率分布，且该第一校正组件的透过率分布与第二校正组件的透过率分布相反设置，即两者在移动方向上具有相反变化趋势的透过率分布。

2.如权利要求1所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的所有校正组件对中的第一校正组件均设置在同一平面上，且相邻的两个第一校正组件之间设置间隔隔开。

3.如权利要求1所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的所有校正组件对中的第二校正组件均设置在同一平面上，且相邻的两个第二校正组件之间设置间隔隔开。

4.如权利要求2或3所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的相邻第一校正组件之间的间隔和相邻第二校正组件之间的间隔大小相等。

5.如权利要求1所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的所有第一校正组件和对应的第二校正组件之间设置间隔隔开。

6.如权利要求1所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的第一校正组件和第二校正组件的透过率分布至少是一维的透过率分布。

7.如权利要求6所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的第一校正组件和第二校正组件的透过率分布为一次函数分布，或者二次函数分布，或者三角函数分布，或者上述若干种函数的组合分布。

8.如权利要求1所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的第一校正组件和第二校正组件由玻璃，或者透射材料制成。

9.如权利要求8所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的设置有透过率分布的第一校正组件和第二校正组件通过在制造材料上沉积透射或衰减物的方法制成。

10.如权利要求8所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的设置有透过率分布的第一校正组件和第二校正组件通过在制造材料上沉积随机点状衰减或挡光物的方法制成，通过控制所述点状物的密度以实现预定的透过率分布。

11.如权利要求1所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的第一校正组件和第二校正组件在垂直于扫描方向的光束传输截面是矩形。

12.如权利要求11所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的第一校正组件和第二校正组件在非扫描方向错位重叠设置。

13.如权利要求12所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的透过率分布分别设置在第一校正组件和第二校正组件的相同表面，或者设置在该两个校正组件的相异表面。

14.如权利要求1所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的第一校正组件和第二校正组件在垂直于扫描方向的光束传输截面是平行四边形，或梯形。

15.如权利要求14所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的第一校正组件和第二校正组件在非扫描方向错位重叠设置。

16.如权利要求15所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的透过率分布分别设置在第一校正组件和第二校正组件的相同表面，或者设置在该两个校正组件的相异表面。

17.如权利要求14所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的第一校正组件和第二校正组件在非扫描方向无错位重叠设置。

18.如权利要求17所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的透过率分布分别设置在第一校正组件和第二校正组件的相异表面。

19.如权利要求1所述的照明均匀性校正装置，其特征在于，所述的第一校正组件和第二校正组件在垂直于扫描方向的光束传输截面是阶梯形。