[发明专利]离子束抛光工艺修形能力的评价方法

摘要

本发明公开了一种离子束抛光工艺修形能力的评价方法，该方法是以材料去除有效率作为对抛光过程修形能力进行量化的评价指标，并将它定义为修形能力评价值，通过去除函数的确定、对去除函数进行傅立叶变换，从而计算出抛光工艺过程的修形能力评价函数，再根据修形能力评价函数计算出修形能力评价值，以此对抛光工艺过程修形能力的强弱进行评价和判断。本发明的方法不仅可用于评价和比较同一抛光工艺过程对不同空间频率误差的修形能力强弱，也可用于评价和比较不同工艺过程的修形能力强弱，具有操作简单、判断准确、适用范围广等优点。

主权项

1. 一种离子束抛光工艺修形能力的评价方法，包括以下步骤：(1)用待评价修形能力的离子束抛光工艺过程进行去除函数试验获取去除函数，经试验获取的去除函数记为p；(2)对去除函数p进行傅立叶变换，得到去除函数的谱函数P；(3)计算修形能力评价函数Γ，计算公式为$\Gamma =\frac{1}{B}\left|P\right|,$其中B为去除函数p的积分，|P|表示P的模；(4)根据修形能力评价函数Γ计算出所述离子束抛光工艺对不同空间频率的修形能力评价值，再根据计算所得的修形能力评价值的大小或修形能力评价值的变换值大小来评价所述离子束抛光工艺过程修形能力的强弱，修形能力评价值越大，则抛光工艺过程的修形能力越强，反之则修形能力越弱。