[发明专利]一种显影装置及其显影方法无效
| 申请号： | 200810023075.6 | 申请日： | 2008-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN101329518A | 公开（公告）日： | 2008-12-24 |
| 发明（设计）人： | 邱勇;彭兆基;陈剑雄;张明;王鹏;吴伟力;张绍林 | 申请（专利权）人： | 昆山维信诺显示技术有限公司;清华大学;北京维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;H01L51/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种显影装置及其显影方法。显影装置包括槽体，显影液供液管路，显影液喷嘴，显影液排液口。显影过程中的槽体内充满气体，槽体上还设有与外界环境相通的开口。将待显影的基板送入显影槽后，打开气体源，气体进入槽体并将其充满，然后再喷洒显影液。通过以上装置和方法，可以保证显影液处在不与显影液反应的气体的保护氛围中，隔绝了空气或者其他能与显影液产生反应的气体，从而保持显影液化学性质的稳定性和持久性，进而保证了良好的显像效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种显影装置，包括：槽体，显影液供液管路，显影液喷嘴，显影液排液口；其特征在于，显影过程中的槽体内充满气体，槽体上设有与外界环境相通的开口。
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