[发明专利]一种显影装置及其显影方法

权利要求书

1.一种显影装置，包括：槽体，显影液供液管路，显影液喷嘴，显影液排液口；其特征在于，显影过程中的槽体内充满气体，槽体上设有与外界环境相通的开口。

2.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述气体为不与显影液反应的一种气体或者多种气体的混合物。

3.根据权利要求2所述的显影装置，其特征在于，所述气体为一种惰性气体或者多种惰性气体的混合物。

4.根据权利要求2所述的显影装置，其特征在于，所述气体为氮气。

5.一种显影装置，包括：槽体，显影液供液管路，显影液喷嘴，显影液排液口；其特征在于，槽体内设有气体源，气体源上设有流量控制装置，槽体上设有与外界环境相通的开口。

6.根据权利要求5所述的显影装置，其特征在于，所述气体源的气体为不与显影液反应的一种气体或者多种气体的混合物。

7.根据权利要求6所述的显影装置，其特征在于，所述气体为一种惰性气体或者多种惰性气体的混合物。

8.根据权利要求6所述的显影装置，其特征在于，所述气体为氮气。

9.一种显影装置，包括：槽体，显影液供液管路，显影液喷嘴，显影液排液口；其特征在于，还包括：槽体上的通孔，所述通孔与外界气体源连接，槽体上还设有与外界环境相通的开口。

10.根据权利要求9所述的显影装置，其特征在于，所述通孔与气体源之间通过管路连接。

11.根据权利要求10所述的显影装置，其特征在于，所述管路上设有流量调节装置。

12.根据权利要求9所述的显影装置，其特征在于，所述气体源的气体为不与显影液反应的一种气体或者多种气体的混合物。

13.根据权利要求12所述的显影装置，其特征在于，所述气体为一种惰性气体或者多种惰性气体的混合物。

14.根据权利要求12所述的显影装置，其特征在于，所述气体为氮气。

15.一种显影装置，包括：槽体，显影液供液管路，显影液喷嘴，显影液排液口；其特征在于，还包括：从槽体外部延伸到槽体内部的管路以及槽体上与外界环境相通的开口，管路位于槽体外部的一端连接气体源，槽体内的管路上分布有至少一个开孔。

16.根据权利要求15所述的一种显影装置，其特征在于，所述管路上的开孔位于管路的壁上。

17.根据权利要求15所述的显影装置，其特征在于，所述管路位于楷体内的部分有至少一个拐点。

18.根据权利要求15所述的显影装置，其特征在于，所述管路位于槽体内的部分是“一”形、“口”形、“S”形、“皿”形或“U”形。

19.根据权利要求15所述的显影装置，其特征在于，所述槽体外的管路上还设有流量调节装置。

20.根据权利要求15所述的显影装置，其特征在于，所述管路内通不与显影液反应的一种气体或者多种气体的混合物。

21.根据权利要求20所述的显影装置，其特征在于，所述管路内所通的气体为一种惰性气体或者多种惰性气体的混合物。

22.根据权利要求20所述的显影装置，其特征在于，所述管路内所通的气体为氮气。

23.采用如权利要求1、5、9或15所述的显影装置进行显影的方法，包括以下步骤：

(1)将待显影的基板置于槽体内；

(2)打开流量调节装置，气体从气体源进入槽体，并逐渐充满槽体；

(3)喷洒显影液，在显影液喷洒的整个过程中保持流量调节装置开启；

(4)使完成显影的基板离开槽体，关闭流量调节装置。