[发明专利]大气压微波等离子体发生装置

摘要

本发明涉及常压微波等离子体发生装置，该装置由矩形波导管、透波气体密封膜、波导管转换机构、微波谐振腔、截止端可调节位相匹配器、反应器、点火器、外层冷却套管和旋转气流发生部件组成，微波在矩型波导管中传输，反应器设置于谐振腔内部几何中心，其外层装配空气冷却套管，点火器置于气体反应管和旋转气流发生部件的上方，点火器的复合式绝缘耐高温电极置于石英管内部中心轴线，电极尖端位置可上下自由调节。本发明的有益效果是，采用矩型波导和波导转换使微波能量集中，使其具有较大的功率。功率容量可以达到2kW。截止端可调节位相匹配器，使谐振腔内产生驻波，保证微波能量耦合于谐振腔，减少微波反射损耗，提高能量利用效率。

主权项

1、常压微波等离子体发生装置，其特征在于，该装置由矩形波导管(1)、透波气体密封膜(2)、波导管转换机构(3)、微波谐振腔(4)、截止端可调节位相匹配器(5)、反应器(6)、点火器(7)、外层冷却套管(8)和旋转气流发生部件(9)组成，微波在矩型波导管(1)中传输，穿过透波气体密封膜(2)，经过波导转换(3)集中注入谐振腔(4)，通过截止端活塞(5)调节，使谐振腔(4)内产生驻波，使微波能量耦合于谐振腔(4)，反应器(6)设置于谐振腔(4)内部几何中心，其外层装配空气冷却套管(8)，点火器(7)置于气体反应管(6)和旋转气流发生部件(9)的上方，点火器的复合式绝缘耐高温电极置于石英管内部中心轴线，电极尖端位置可上下自由调节。