[发明专利]大气压微波等离子体发生装置

权利要求书

1、常压微波等离子体发生装置，其特征在于，该装置由矩形波导管(1)、透波气体密封膜(2)、波导管转换机构(3)、微波谐振腔(4)、截止端可调节位相匹配器(5)、反应器(6)、点火器(7)、外层冷却套管(8)和旋转气流发生部件(9)组成，微波在矩型波导管(1)中传输，穿过透波气体密封膜(2)，经过波导转换(3)集中注入谐振腔(4)，通过截止端活塞(5)调节，使谐振腔(4)内产生驻波，使微波能量耦合于谐振腔(4)，反应器(6)设置于谐振腔(4)内部几何中心，其外层装配空气冷却套管(8)，点火器(7)置于气体反应管(6)和旋转气流发生部件(9)的上方，点火器的复合式绝缘耐高温电极置于石英管内部中心轴线，电极尖端位置可上下自由调节。

2、按权利要求1所述的常压微波等离子体发生装置，其特征在于，所述的透波气体密封膜(2)是与矩型波导管(1)横截面积大小相同的可透过微波的薄膜，嵌于矩型波导管(1)与波导管转换机构(3)之间。

3、按权利要求1所述的常压微波等离子体发生装置，其特征在于，所述的截止端可调节位相匹配器(5)是可自由调节的。

4、按权利要求1所述的常压微波等离子体发生装置，其特征在于，所述的反应器(6)是石英材料，或陶瓷材料。

5、按权利要求1所述的一种常压微波等离子体发生装置，其特征在于，所述的点火器(7)与反应器(6)通过旋转气流发生部件(9)相连接，并且所有连接处都是密封的，点火器(7)是复合式绝缘的，端点高度可以自由调节。

6、按权利要求1所述的一种常压微波等离子体发生装置，其特征在于，所述的气体反应器(6)与外层冷却套管(8)之间为空气冷却结构。