[发明专利]用于制造压电弯曲变换器的方法无效
| 申请号： | 200810009268.6 | 申请日： | 2008-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN101237022A | 公开（公告）日： | 2008-08-06 |
| 发明（设计）人： | M·韦因曼;A·施米德;A·肖尔茨 | 申请（专利权）人： | 费斯托合资公司 |
| 主分类号： | H01L41/22 | 分类号： | H01L41/22;F16K31/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 卢江;魏军 |
| 地址： | 德国埃*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明推荐了用于制造压电弯曲变换器的方法，其中该压电衬底片变换器分别具有通过一个分隔间隙(30)相互分隔的、相互平行设置的两个薄片(36、37)，该薄片分别从一个自由薄片端延伸至一个末端固定区域(25)，在该末端固定区域处这两个薄片(36、37)相互连接，其中该分隔间隙(30)结束于该末端固定区域(25)中的一个末端固定间隙端(35)，其中该方法按照以下的步骤来执行：在两个相互配对的薄片初始结构(23、24)之间如此插入相应的分隔间隙(30)，使得该分隔间隙在所述孔(26a、26b、26c)的整个孔长度上延伸至该孔(26a、26b、26c)的朝向自由薄片端的前孔区域(27a、27b、27c)，其中该孔长度在所述压电衬底片(11)的厚度方向上延伸，借助分离工具把设置有分隔间隙(30)的压电衬底片(11)分离为压电弯曲变换器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 压电 弯曲 变换器 方法 | ||
【主权项】：
1.用于制造压电弯曲变换器的方法，其中该压电弯曲变换器分别具有通过一个分隔间隙(30)相互分隔的、相互平行设置的两个薄片(36、37)，其中所述薄片分别从一个自由薄片端延伸至一个末端固定区域(25)，在该末端固定区域处所述两个薄片(36、37)相互连接，其中所述分隔间隙(30)结束于所述末端固定区域(25)中的一个末端固定间隙端(35)，所述方法具有以下的步骤：-提供具有多个条状薄片初始结构(23、24)的一个多层板状压电衬底片(11)，其中分别在两个相互配对的薄片初始结构(23、24)之间的末端固定区域(25)中设置在厚度方向上穿过所述压电衬底片(11)的孔(26a、26b、26c)，-在两个相互配对的薄片初始结构(23、24)之间插入相应的分隔间隙(30)使得：该分隔间隙在所述孔(26a、26b、26c)的整个孔长度上延伸至该孔(26a、26b、26c)的朝向自由薄片端的前孔区域(27a、27b、27c)，其中该孔长度在所述压电衬底片(11)的厚度方向上延伸，-借助一种分离工具把设置有分隔间隙(30)的压电衬底片(11)分离为压电弯曲变换器。
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